推荐阅读最新更新时间:2026-03-22 14:02
俄罗斯宣布自研EUV光刻机:比ASML更便宜、更容易制造!
据报道,俄罗斯已公布自主开发EUV(极紫外光刻)光刻机的路线图,目标是比ASML的光刻机更便宜、更容易制造。 据悉,俄罗斯的自主光刻机采用11.2nm的激光光源,而非ASML标准的13.5nm。这种波长将与现有的EUV设备不兼容,需要俄罗斯开发自己的光刻生态系统,这可能需要十年或更长时间。 包括电子设计自动化(EDA)工具也需要进行更新。虽然现有EDA工具仍可完成逻辑合成、布局和路由等基本步骤,但涉及曝光的关键制程,如光罩数据准备、光学邻近校正(OPC)和分辨率增强技术(RET),则需要重新校准或升级为适合11.2nm的新制程模型。 该项目计划由俄罗斯科学院微结构物理研究所的Nikolay Chkhalo领导,目的是制造性能具竞争
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李在镕访ASML目的曝光,督促9台EUV光刻机提前出货
据businesskorea报道,三星电子副会长李在镕正敦促ASML的高管尽早交付三星今年订购的9台的EUV光刻机。 该报道指出,李在镕日前在到访荷兰时,与ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管进行了会晤。李在镕要求ASML提前1个月交付EUV光刻机。对于三星的要求,传ASML考虑最快11月出货。 据悉,ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商,年产量为40余台,台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵,每台要价约1.3亿美元,由于是EUV制程必需的关键设备,台积电与三星电子的竞争日益激烈。 三星为了全力追赶台积电,正快马加鞭导入EUV光刻机,并扩建晶
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精益求精,ASML正在开发下一代EUV光刻机
ASML的副总裁Anthony Yen日前表示,他们已经开始研发下一代光刻机。他表示,在他们公司看来,一旦现有的系统到达了极限,他们有必要去继续推动新一代产品的发展,进而推动芯片的微缩。 据介绍,较之他们的客户三星、Intel和台积电都正在使用的3400系列,ASML 5000将会有更多的创新。Yen在本周于旧金山举行的IEEE国际电子设备会议上告诉工程师,其中最引人注目的是机器数值孔径(numerical aperture)从现在的0.33增加到0.55 。数值孔径是无量纲(dimensionless quantity)的数量,与光的聚焦程度有关。数值孔径越大意味着分辨率越高。改变EUV机器中的数值孔径将需要更大,更完美抛光
[半导体设计/制造]
韩媒:三星和台积电在先进制程上的激烈竞争,利好ASML
ASML日前发布的2020年第二季度财报显示,第二季度净销售额金额为33亿欧元,净利润金额为8亿欧元,毛利率达到48.2%,第二季度的新增订单金额为11亿欧元。 据BusinessKorea的最新消息称,ASML业绩强劲增长原因之一是三星电子(Samsung Electronics)和台积电(TSMC)在微加工技术方面的竞争。 该报道称,推动ASML销售增长的是EUV光刻设备。由于半导体微制造工艺最近已发展到5nm水平,铸造公司必须确保拥有每台价值2000亿韩元的EUV设备。而目前的ArF曝光设备无法将微加工工艺提升到7nm以下的水平。这导致了一些大型铸造公司由于成本负担而放弃了基于EUV的半导体市场。 目前,只有三星电子和台
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ASML光刻机欠火候:三星/台积电/GF 7nm EUV异常难产
不久前,高通宣布未来集成5G基带的骁龙芯片将基于三星的7nm制造,具体来说是7nm LPP,使用EUV(极紫外)技术。 紧接着,三星就在华诚破土动工了一座新的7nm EUV工艺制造工厂,2020年之前要投产。 看似风风火火,但其实7nm EUV依然面临着不少技术难题。 据EETimes披露,在最近的芯片制造商会议上,有厂商就做了犀利地说明。 比如,GlobalFoundries研究副总裁George Gomba就表示,唯一有能力做250瓦EUV光刻机的ASML(阿斯麦)提供的现款产品NXE-3400仍不能满足标准,他们建议供应商好好检查EUV光罩系统,以及改进光刻胶。 这里对光刻做一下简单科普。 光刻就是将构成芯片的图案蚀刻到硅晶
[半导体设计/制造]
阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造,推动分子传感技术发展
12 月 22 日消息,比利时微电子研究中心(IMEC)已成功利用阿斯麦(ASML)最先进的极紫外光刻(EUV)设备,实现了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项出人意料的卓越生物医学应用”。鉴于纳米孔为分子传感技术开辟的广阔前景,这项突破或将成为该领域的重要进展。 据了解,纳米孔的特性在生物医学领域极具研究价值。从名字不难推断,纳米孔本质上是一种微小的孔道,直径仅为数纳米。若用更通俗的表述解释:这类孔道的直径约为人类头发丝的万分之一。 如此微小的孔道有何用途?基于分子与纳米孔的相互作用原理,其可被应用于生物医学传感器。纳米孔检测技术的核心原理如下: 测量流经纳米孔的离子电流; 当分子穿过孔道时,会
[半导体设计/制造]
消息称阿斯麦新一代EUV光刻机已具备量产条件,造价约4亿美元
2 月 27 日消息,据路透社今日报道,阿斯麦公司(ASML)一位高管透露,该公司新一代芯片制造设备已具备厂商大规模量产使用的条件,这对芯片行业而言是重要的一步。 这家荷兰企业生产全球唯一商用的极紫外光刻机(EUV),该设备是芯片制造商的核心生产装备。阿斯麦方面的数据显示,这款新设备能省去芯片制造流程中数个高成本、高复杂度的工序,助力台积电、英特尔等芯片企业制造性能更强劲、能效更优异的芯片。 阿斯麦耗时数年研发这款高成本的新一代设备,与此同时,芯片制造商们也一直在评估,何时启动该设备的量产才具备经济可行性。 当前一代极紫外光刻机在制造复杂人工智能芯片方面的能力已接近技术极限,而这款名为 High-NA EUV(高数值孔径极紫外光刻
[半导体设计/制造]
SK海力士M16厂正安装EUV光刻机,新一代DRAM最快1H亮相
据etnews报道,SK海力士已开始在其位于韩国利川的M16工厂安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布将在今年年内在M16厂建设产线以生产下一代DRAM,不过并未透露ASML EUV光刻机的引进方式、确切时间等。 因此业内人士有诸多揣测,包括将研究大楼R3的2台EUV光刻机转移至该产线,并计划于今年2月开始安装新购买的设备等。现在看来,SK海力士新设备的购买和安装速度快于业界预期。 该报道指出,EUV光刻机的安装时程需要3-6个月,因此SK海力士最快可以在今年上半年量产第一批产品。 据悉,ASML是EUV光刻机的独家供应商,单台的售价超过1.35亿美元。
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