芯片的先进封装会发展到4D吗?
电子集成技术分为三 个层次,芯片上的集成,封装内的集成,PCB板级集成,其 代表技术分别为SoC,SiP和PCB(也可以称为SoP或者SoB)
芯片上的集成主要以2D为主,晶体管以平铺的形式集成于晶圆平面;同样,PCB上的集成也是以2D为主,电子元器件平铺安装在PCB表面,因此,二者都属于2D集成。而针对于封装内的集成,情况就要复杂 得 多。
电子集成技术分类的两个重要 依 据:1.物理结构,2.电气连接(电气互连)。
目前先进封装 中按照主流可分为2D封装、2.5D封装、3D封装三种类型。
2D封装
2D封装是指在基板的表面水平安装所有芯片和无源器件的集成方式。2D封装上包括FOWLP、FOPLP等技术。
物理结构
台积电的InFO:
台积电在2017年开发的InFO技术。InFO技术与大多数封装厂的Fan-out类似,可以理解为多个芯片Fan-out工艺的集成,主要区别在于去掉了silicon interposer,使用一些RDL层进行串连(2016年推出的iPhone7中的A10处理器,采用台积电16nm FinFET工艺以及InFO技术)。
日月光的eWLB: 与台积的InFO类似,都属于Fan-out技术
另外,还有一种2D+ 集成
2D+集成是指的传统的通过键合线连接的芯片堆叠集成
主要基于以下两点原因
1
2
物理结构
电气连接
2.5D封装
2.5D封装通常是指既有2D的特点,又有部分3D的特点,其中的代表技术包括英特尔的EMIB、台积电的CoWoS、三星的I-Cube。
物理结构
2.5D集成的关键在于中介层Interposer
所谓的TSV 指的是: 硅通孔-Through Silicon Via。定义为连接硅晶圆两面并与硅衬底和其他通孔绝缘的电互连结构。
使用方法是:硅连接板和直接使用TSV。
硅中介层有TSV的集成是最常见的一种2.5D集成技术,芯片通常通过MicroBump和中介层相连接,作为中介层的硅基板采用Bump和基板相连,硅基板表面通过RDL布线,TSV作为硅基板上下表面电气连接的通道,这种2.5D集成适合芯片规模比较大,引脚密度高的情况,芯片一般以FlipChip形式安装在硅基板上。
有TSV的2.5D集成示意图:
无TSV的2.5D集成示意图:
台积电的CoWoS技术
长电科技XDFOI技术:
相较于2.5D TSV封装技术,具备更高性能、更高可靠性以及更低成本等特性。该解决方案在线宽或线距可达到2um的同时,可实现多层布线层,另外,采用了极窄节距凸块互联技术,封装尺寸大,可集成多颗芯片、高带宽内存和无源器件。
三星的I-Cube
三星的具有的先 进封装包括I-Cube、X -Cube、R-Cube和H-Cube四种方案。其中,三星的I-Cube同样也属于2.5D封装。
3D封装
3D封装和2.5D封装的主要区别在于:2.5D封装是在Interposer上进行布线和打孔,而3D封装是直接在芯片上打孔和布线,电气连接上下层芯片。
3D集成目前在很大程度上特指通过3D TSV的集成。
3D集成和2.5D集成的主要区别在于
不同类芯片的3D集成中
台积电的SoIC技术:
台积电SoIC技术属于3D封装,是一种晶圆对晶圆(Wafer-on-wafer)的键合技术。SoIC技术是采用TSV技术,可以达到无凸起的键合结构,把很多不同性质的临近芯片整合在一起,而且当中最关键、最神秘之处,就在于接合的材料,号称是价值高达十亿美元的机密材料。
SoIC技术将同质和异质小芯片集成到单个类似SoC的芯片中,具有更小尺寸和更薄的外形,可以整体集成到先进的WLSI(又名CoWoS和InFO)中。从外观上看,新集成的芯片就像一个通用的SoC芯片,但嵌入了所需的异构集成功能。
使用TSV工艺,目前三星的X-Cube测试芯片已经能够做到将SRAM层堆叠在逻辑层之上,通过TSV进行互联,制程是他们自家的7nm EUV工艺。
长电科技的扩展eWLB:
4D集成
4D集成定义主要是关于多块基板的方位和相互连接方式
来源:今日半导体等网络内容综合
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