电子工程世界专题-MEMS,IC产业的新宠

MEMS:IC产业的新宠

编者按：

　　近年来半导体制程技术日趋成熟，使制作微机电组件的可行性大幅提升，促使应用技术蓬勃发展，市场急剧扩大，前景极为广阔。世界各大厂商各领风骚，新兴应用领域不断涌现。本专题从MEMS的基本入手，对产业的形势、趋势、产品及其应用作一个全面的扫描。

▍一、什么是MEMS？
1. 什么是MEMS？ 2. MEMS技术的发展历史 3. MEMS技术：现状与未来趋势

▍二、市场蓬勃发展

▍三、产品种类日趋繁多，众厂商方向各异

　▍四、应用领域广泛，最热门是三大领域：汽车、消费和工控

▍五、未来技术更看创新

从ECM到MEMS，蜕变中的麦克风  图

传感器：与IC趋于集成MEMS遍及高端

时钟产品小型化 MEMS振荡器优势渐显

RFMD面向3G多模手机市场推出RF  MEMS器件

未来MEMS技术推动了电子技术在汽车上的应用

革命性创新催生多领域采纳MEMS技术 图

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　　　　　　　　　电子工程世界

　　　　　　　　　　制作：孙树宾 2008年06月02日

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