EV集团(EVG)为显示器制造提高纳米压印技术

2016-03-15 17:12:55来源: EEWORLD 关键字:光学  功能  制造
EV集团(EVG)作为微电子机械系统、纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的供应商主导,近日在奥地利圣弗洛里安宣布推出EVG®7200 LASmartNIL™系统,用于需要大面积基板的显示器制造及其他应用。该自动化UV纳米压印技术(UV-NIL)系统利用了EVG专有的SmartNIL技术,可以在大批量制造应用上实现具有成本效益的纳米图案化。EVG7200 LA专为第二代(370毫米x470毫米)显示器面板制造设计,但同时可以满足一系列生物技术应用、光子学应用和光学应用的需要。由EVG7200 LA支持的压印图案和设备举例如下:能够实现更大清晰度和更低功耗的金属光栅偏振器、用于直视型3D屏幕的柱状透镜以及其他能实现新功能和新规格的功能路面。
 
 
纳米压印(NIL)是一种能够实现大面积纳米级图案化的非常划算的方式,因为它不受限于光刻所需的尖端光学技术,并且,它能够为极小(低于100纳米)的结构实现图案的最佳保真度。在当前的纳米压印系统生产中,EVG拥有最大的安装基础,并且,EVG不断扩展其纳米压印解决方案的功能,以满足新兴市场的需求和技术要求。最新加入EVG的纳米压印产品组合EVG7200 LA通过在显示器面板尺寸基板上实现高品质纳米图案化,将纳米压印技术带上了一个全新的高度。因此,基于纳米技术、能够提高设备性能的新结构现在可用于显示器制造和其他高要求的大面积应用中。
 

 
EVG®7200 LA SmartNIL™系统为纳米压印及其他需要大面积基板应用的显示器制造带来高分辨率和低成本的优势。
 
 
EV集团(EVG)的企业技术总监Thomas Glinsner博士说:“EV集团的纳米压印技术市场以及技术领导地位建立在与多个市场的合作伙伴和客户合作所累积的多年现场经验上,以及在我们的演示实验室和纳米压印光子技术支持中心的研究和开发工作上。”“受顾客需求的推动,我们将强大的智能纳米压印技术用于大批量制造中,该技术已经在直径200毫米的基板上取得了杰出的压印成果,并且规模已扩大到了第二代的面板尺寸。拥有了EVG7200 LA技术,现在我们可以为显示器市场提供一个整体的图案化解决方案,在该市场中很多公司并没有预先考虑把纳米压印技术作为他们生产方面努力的方向。”
 
 
EVG7200 LA技术以EVG智能纳米压印技术为一大特色,它结合多功能软压印工作技术,适用于不均匀的粗糙表面,从而提供无与伦比的具有高度均匀性和图案保真度的共形印刻(下至40nm)。这种性能对成功制造金属光栅偏振器尤其重要,因为在其制造过程中需要将图案转移到金属层,并且设备特性的临界尺寸需要降至100nm以下。此外,结合自动化低力驱动的脱离技术,智能纳米压印的软压印制造工艺延长了主要印章的使用寿命,从而为消费者节约了大量的成本。
 
 EVG7200 LA智能纳米压印系统会在位于奥地利圣弗洛里安的EVG总部加以展示。
 
  
 EV集团(EVG)公布显示器制造UV-NIL系统
 

关键字:光学  功能  制造

编辑:王凯 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/xfdz/article_2016031552252.html
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