台积电(2330)今(3日)首度开放媒体参观南科Fab 14的超大晶圆厂及无尘室的先进制程等设备，也引发市场关注台积明年在20奈米量产后、年底紧接着将开始16奈米试产，要如何在一年内完成这样的制程转换？对此台积电代理发言人孙又文(见附图)指出，20与16奈米制程，当中有95%都是采用相同的机台设备，所以制程的机台转换不会是一个很大的问题。而台积也不认为20奈米只会有一年的寿命，仍维持台积20奈米前两年的出货量，可望与28奈米前两年出货量相当的看法。
她表示，16奈米跟20奈米制程技术的最大差距，就是在Transistor的结构上，从Planar转换成FinFET，因此台积认为，16奈米制程为20奈米的延伸，而台积当初的投资计划，也是把20与16奈米算做一个整体。
孙又文表示，台积在20和16奈米制程之间仍有一年的学习期，从20奈米开始台积就能够针对双重曝光(double-patterning)技术提早练兵，进入16奈米唯一的改变只有晶片结构(从Planar到FinFET)的转换。因此，经过一年的学习期，一旦台积的16奈米制程开始量产，相信会比对手的14奈米来得稳定。
至于台积16奈米制程与对手英特尔、三星14奈米制程的差距在哪？孙又文则指出，与其谈这两个制程有什么差异，不如说台积的竞争优势在于能紧密配合客户的需要，用台积的制程生产出最有竞争力的产品。而台积透过「大同盟」(GrandAlliance)的概念，也建立了全球最完整的IP平台，这就是台积最大的竞争优势。
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