GlobalFoundries德勒斯登Fab 1内部揭密!

2012-06-20 13:03:00来源: eettaiwan
    在某个晴朗的星期五早晨,一群媒体记者齐聚德国德勒斯登(Dresden)市中心的酒店,准备出发前往晶圆代工业者 GlobalFoundries 位于市郊的的Fab 1晶圆厂区。从一条狭窄的街道远望,可以看到德勒斯登著名的 Frauenkirche 圣母堂;这座美丽的教堂建于18世纪,在二次大战时期曾毁于燃烧弹,其重建工程在2005年终于完工。

德勒斯登的Frauenkirche 圣母堂

20分钟的车程到达 GlobalFoundries 的 Fab 1厂区;该厂区过去是AMD的Fab 30与Fab 36所在地,于1996年动土,在1999年启用首个8寸晶圆无尘室。目前Fab 1是GlobalFoundries 的 12寸晶圆生产线所在;亲自接待媒体的该公司副总裁暨Fab 1总经理Rutger Wijburg表示,该厂未来可支援 20奈米制程节点、 18寸晶圆生产。

Fab 1是欧洲规模最大也是最先进的晶圆厂,但是与GlobalFoundries位于美国纽约州Malta即将上线的20奈米、12寸晶圆厂相较还是稍嫌逊色。目前Fab 1正在进行一项投资金额达30亿美元的升级计划,未来可达到每月8万片12寸初始晶圆、或是每年100万片初始晶圆的产能。在该厂房扩建计划下,自2011年中起,就陆续有设备进驻一个面积达1万2,000平方英尺的无尘室;据了解,该计划将将持续「依需求」进行至2014年。


目前的GlobalFoundries Fab 1厂区配置图

Wijburg 明确表示,德勒斯登厂区不会变成赶不上先进制程脚步的「夕阳晶圆厂」,不过目前也还未决定要升级至20奈米制程;而他认为Fab 1终究可以证明其价值,赢得公司高层的信心票,就像英特尔(Intel)位于爱尔兰都柏林的Leixlip厂房那样。英特尔的Leixlip厂区目前也是采用较旧的晶圆制程,但最近获得10亿美元的投资,将设置14奈米制程节点的设备。

Wijburg 表示:「我们一开始会采用28奈米节点,接下来可转移至20奈米节点或是较大晶圆尺寸。」显然较高良率的28奈米制程是Fab 1的优先选择,同时GlobalFoundries将会在该厂区增加嵌入式记忆体与混合讯号/射频制程选项,以吸引更多客户。在2011年,业界曾传言AMD因为GlobalFoundries的28奈米良率问题重订双方采购协议,甚至打算寻找其他代工夥伴;不过Wijburg强调:「问题都已经解决了。」
在2011年加入GlobalFoundries 的Wijburg过去曾担任恩智浦半导体(NXP Semiconductors)前段制程业务的资深副总裁;他表示,所有的制程技术转移都会遇到问题,若再伴随业务组织改变,那种「生长痛」是预期必然发生的。Wijburg强调,对GlobalFoundries来说那些黑暗的日子都已经过去了,现在该公司不但业绩成长,也赢得了高通(Qualcomm)、意法(STMicroelectronics)等新客户。

Wijburg进一步指出,事实上在2012下半年,将有超过五成的Fab 1厂产能(目前总产能为每月5万片初始晶圆)并非是为AMD代工:「我们是一家全球性的晶圆代工厂。」

GlobalFoundries 晶圆厂内部揭密

接下来就是参观晶圆厂了…能有机会进去一座运转中的晶圆厂房并不是很常有的呢!工程经理们通常会很担心这种参访活动过后,会让生产线的缺陷率飙升。因此准备参观的记者们都穿上特别准备的无尘衣、使用无尘室专用的笔记纸,并被交待千万别碰任何东西,还要小心头上那些在机台设备之间搬运晶圆片的输送盒。


着装完成!准备参观晶圆厂…记者们专注聆听工程师讲解晶片制造过程

无尘室内采用黄色的灯光,目的是在晶圆片在机台之间运输的过程中,将可能影响光阻剂与其它制成的外部能源缩减到最小。通常基于商业机密,晶片制造商很少会让厂房内部的照片曝光,因此本文内的照片都是有经过GlobalFoundries 审核后才获得同意刊出的。


扩充中的无尘室;无尘室地面铺设了钢板,是为了分担陆续进驻的设备机台重量

根据GlobalFoundries的导览人员表示,尚在扩建的无尘室看起来比较空,但已经有部分机台准备就绪、可进行量产,不过还有部分机台还在进行测试。下图则是量产的12寸晶圆片。


12寸晶圆片

Fab 1内的5个无尘室之间都有空桥连接。


连接无尘室的空桥

参观活动结束之后,记者们获得了身上穿的无尘衣、手套、头套以及口罩当作纪念品带回家;离开无尘室之前,笔者还刚好遇到了编号001的晶圆搬运盒从头上经过,很幸运吧!


编号001的晶圆搬运盒

关键字:GlobalFoundries  德勒斯登

编辑:北极风 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/xfdz/2012/0620/article_13057.html
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