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采用四点共线探针和6221电流源判断电阻率和电导率类型

采用四点共线探针和6221电流源判断电阻率和电导率类型 Resistivity and conductivity type are fundamental properties of semiconductors and are critical parameters in both materials research and wafer fabrication. A semiconductor’s resistivity depends primarily on the bulk doping, but can be modified through de

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