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    MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。微机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果,使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域,涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

    意法半导体(STMicroelectronics)是唯一拥有从运动传感器、MEMS麦克风、环境传感器、微流控部件到微镜以及微致动器等技术并拥有规模生产测试能力的半导体公司。针对物联网应用,ST AMG部门还推出了低功耗蓝牙和1Ghz以下频段无线产品,与STM32一同为计算-传感-连接的物联网“三体”架构提供了产品保障。意法半导体MEMS BBS版面专注于MEMS产品的介绍普及,技术探讨,应用案例分享等,欢迎广大网友踊跃参与,与我们分享你独特的见解,在版块内开启头脑风暴吧!

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在电子工程世界为您找到如下关于“mems”的新闻

芯片企业洛丁森获数千万元A轮融资 GGV纪源资本投资

到高端智能工业MEMS芯片研发和产业化工作,力争一年后实现国外芯片的国产替代,为中国制造2025提供真正的“中国芯”。   据了解,洛丁森公司研发团队成员均毕业于国内外知名高校,核心技术人员均经过德国柏林弗朗霍夫IZM研究所的专业理论和实践培训。公司拥有完善的自主知识产权,其创新包括全球首创600°高温下的压力、差压、液位和流量测量传感器,以及全球首创无源无线智能、数字化的多路...

类别:半导体生产 2018-04-21 15:48:03 标签: 芯片 GGV

意法半导体展示最新的智能工业解决方案

场演示活动主要介绍基于MEMS麦克风和STM32微控制器(MCU)的高压管道气体泄漏超声检测。在这个演示中,MEMS麦克风用于检测气体泄漏所产生的高频声波。 意法半导体还展示了如何利用各种电机精确控制技术推动无人机、机器人等设备的商用化进程。在意法半导体展台上,工程师们演示了如何使用一个微型的高集成度电机驱动器来控制无刷直流电机。这一微型电机驱动器内置Arm®Cortex...

类别:智能工业 2018-04-20 15:08:54 标签: 意法半导体

一文读懂让中兴及中国半导体行业遭殃的《瓦森纳协定》

、物位、成份仪表与高可靠执行器,智能电网先进量测仪器仪表(AMI),材料分析精密测试仪器与力学性能测试设备,新型无损检测及环境、安全检测仪器,国防特种测试仪器、高可靠性力敏、磁敏等传感器,新型复合、光纤、MEMS、生物传感器,仪表专用芯片,色谱、光谱、质谱检测器件;高参数、高精密和高可靠性轴承、液压/气动/密封元件、齿轮传动装置及大型、精密、复杂、长寿命模具;高档(尤其是军品级别...

类别:综合资讯 2018-04-20 10:24:00 标签: 半导体 中兴

智能医疗与mems技术人工智能技术深度结合开发的胶囊机器人

智能医疗与mems技术人工智能技术深度结合开发的胶囊机器人

当医疗产品越来越像“智能”、“精准”演进时,微机电系统(Micro ElectroMechanical Systems,简称MEMS)技术与医疗生物的结合,将成为一种必然的趋势。MEMS技术是一个将机械和电子结合起来形成的微小系统,其能感知外界力、热、光、生、磁、化等信息。在物理、机械、生物工程、医疗、光学、材料工程、电子工程等领域都有所应用。由于不同产品器件有各自不同的需求...

类别:综合资讯 2018-04-19 18:40:56 标签: 智能医疗 人工智能 mems 机器人

一文读懂让中兴及中国半导体行业遭殃的《瓦森纳协定》

一文读懂让中兴及中国半导体行业遭殃的《瓦森纳协定》

,涡扇发动机智能控制系统、高精度、高稳定性、智能化压力、流量、物位、成份仪表与高可靠执行器,智能电网先进量测仪器仪表(AMI),材料分析精密测试仪器与力学性能测试设备,新型无损检测及环境、安全检测仪器,国防特种测试仪器、高可靠性力敏、磁敏等传感器,新型复合、光纤、MEMS、生物传感器,仪表专用芯片,色谱、光谱、质谱检测器件;高参数、高精密和高可靠性轴承、液压/气动/密封元件、齿轮...

类别:市场动态 2018-04-19 10:35:40 标签: 瓦森纳协定

L3级或以上自动驾驶需要3D LiDAR 法雷奥计划推出mems固态LiDAR

L3级或以上自动驾驶需要3D LiDAR 法雷奥计划推出mems固态LiDAR

采用MEMS扫描镜的固态LiDAR “SCALA Gen.3”(第三代产品)。增加垂直方向的视角以提高识别精度...

类别:车载多媒体/导航 2018-04-18 20:32:18 标签: 自动驾驶 LiDAR

激光雷达:从光电技术角度看自动驾驶

激光雷达:从光电技术角度看自动驾驶

激光雷达和与之竞争的传感器技术(相机、雷达和超声波)加强了对传感器融合的需要,也对认真谨慎地选择光电探测器、光源和MEMS振镜提出了更高的要求。传感器技术、成像、雷达、光探测技术及测距技术(激光雷达)、电子技术和人工智能的进步,使数十种先进的驾驶员辅助系统(ADAS)得以实现,包括防撞、盲点监测、车道偏离预警和停车辅助等。通过传感器融合实现这些系统的同步运行...

类别:车载多媒体/导航 2018-04-18 18:50:35 标签: 激光雷达 自动驾驶

屏下指纹快速上量 安全性依旧是考量

等等明显优势。当然,任何破坏式创新都要有全方位技术宽广度与技术深度的掌握,其中MEMS设计与SiP系统级封装技术就是敦捷要在2018年量产超轻薄、低耗电之aTOM onFlux ID全面屏屏下指纹方案所100%自主掌握的核心关键技术之一。”因此,在全产业链的共同努力下,符合全面屏手机尺寸、功耗、功能要求的屏下光学指纹产品逐步推向市场。但指纹识别作为手机中的生物识别方式,不可避免地会用...

类别:半导体生产 2018-04-18 17:23:35 标签: 屏下指纹

北方华创:半导体设备龙头 进口替代乘风而上

MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域。目前,公司Etch、PVD、单片退火设备、立式炉、清洗机等在内的多项12英寸关键集成电路装备实现了在国内龙头代工企业和领军存储器企业的应用,8英寸设备也全面进驻国内主流代工厂和IDM企业。  其他业务:齐头并进,稳定发展  公司的真空装备、锂电装备以及精密元器件业务齐头并进,稳定发展。真空装备:光伏单晶炉为西安隆基提供...

类别:半导体生产 2018-04-18 17:19:51 标签: 北方华创 半导体设备

紫光展锐荣获“2017年中国集成电路设计十大企业”

紫光展锐荣获“2017年中国集成电路设计十大企业”

。大会当天中国半导体行业协会揭晓了“第十二届(2017年度)中国半导体创新产品和技术项目”、“2017中国半导体制造、设计、封装测试十大企业”、“2017中国半导体功率器件、MEMS、半导体装备与材料十强企业”榜单。紫光展锐凭借在设计领域的强大实力,获得“2017年中国集成电路设计十大企业“称号。作为紫光集成电路产业链中的核心企业,紫光展锐致力于移动通信和物联网领域核心芯片的自主...

类别:半导体生产 2018-04-17 21:13:19 标签: 紫光展锐

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mems资料下载

Introduction to MEMS立即下载

Introduction to MEMSCourse No. 04813190 MEMS DEVICES AND DESIGN , Spring 2004Lecture1: Introduction to MEMSHaixia Zhang Institute of Microelectronics, PKUMEMS DEVICES AND DESIGN...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: Introduction

MEMS产业化面临的机遇与挑战立即下载

微机电系统(MEMS)是一门新兴的交叉学科。MEMS 能够实现各类产品的微型化、集成化、便携化,在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了MEMS 产业化的意义,并用SWOT 法分析了中国MEMS 产业化的现状以及面临的机遇与挑战。关键词:MEMS;产业化;机遇Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising...

类别:射频与通信技术 2013年09月19日 标签: MEMS产业化面临的机遇与挑战

MEMS技术推动新型消费电子应用发展立即下载

MEMS技术推动新型消费电子应用发展MEMS技术推动新型消费电子应用发展 [pic]时间:2010年11月03日尽管2009年全球经历了空前的经济危机,但是MEMS市场并没有受到影响,市场总值几乎与2008持平,出货量...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 技术 推动 新型 消费 电子 应用 发展

新型硅晶体(基于MEMS)立即下载

硅晶体400-888-2483MEMS 硅晶振 VS 石英晶振(连载一) 之前言好久没写点东西了,最近抽空写了篇《MEMS 硅晶振 VS 石英晶振》 (连载) ,文章从石 英晶振基础开始讲,涉及到石英晶振的生产工艺、以及 MEMS 硅晶振的详细介绍。并对两 个者进行了相关比较。意在让大家更多的了解些新的产品技术,当然也推一下产品哈。下面 写一下目录...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 硅晶

MEMS器件缩减模型建模方法研究立即下载

论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟。Reduced-order...

类别:电路仿真 2013年09月19日 标签: MEMS器件缩减模型建模方法研究

静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar立即下载

微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电...

类别:电路仿真 2014年03月05日 标签: 静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计

MEMS传感器的封装立即下载

MEMS作为21世纪的前沿高科技,在产业化道路上已经发展了20多年,今天,MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点,已经有了很大的市场,早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成的封装工艺,MEMS产品中,由于各类产品的使用范围和应用环境的差异,其封装也没有一个统一的形式[1],应根据具体的使用情况选择适当的封装,同时,在MEMS产品...

类别:PCB设计技巧 2013年09月21日 标签: MEMS 传感器 封装

陀螺仪基础知识立即下载

陀螺仪MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化。 但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS 陀螺仪利用科里奥利力――旋转 物体在有...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 陀螺

MEMS 经典教材立即下载

MEMS 经典教材 he field of microelectromechanical systems (MEMS), particularly micromachined mechanical transducers, has been expanding over recent years, and the production costs of these devices...

类别:射频与通信技术 2013年09月22日 标签: MEMS 经典教材

《Foundations of MEMS(第一版)》英文版立即下载

《Foundations of MEMS(第一版)》英文版 作者:Chan Liu 简介:此书为MEMS经典教材,是MEMS初学者的必读教材。文中介绍了MEMS( Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)的发展史,介绍了微制造技术(microfabrication),并回顾了机电相关的基础知识,然后详细深入的介绍了MEMS系统中每一个细节电路的知识。...

类别:工业控制 2015年01月29日 标签: MEMS

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