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MEMS器件

在电子工程世界为您找到如下关于“MEMS器件”的新闻

介绍一种MEMS器件主流加工技术
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀,可得到较大纵向尺寸可动微结构。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成MEMS 器件的制作。利用表面工艺得到的可动微结构的纵向尺寸较小,但与IC工艺的兼容性更好,易与电路实现单片集成。目前国外表面工艺与体硅工艺并行...
类别:综合资讯 2018-04-16 标签: MEMS麦克风
中芯国际落户绍兴,强攻MEMS和功率器件
2018年3月1日,中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立中芯集成电路制造(绍兴)有限公司(筹), 标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。绍兴市委书记马卫光,副书记、代市长盛阅春,市委常委、秘书长钟洪江,中芯国际董事长周子学博士、首席财务官高永岗博士、战略发展中心资深副总裁葛红等出席签约仪式。随着智能化社会的到来,人工智能、5G通信、物联网、车载、工控...
类别:半导体生产 2018-03-02 标签: 中芯国际 MEMS
据市场数据统计未来五年OSAT市场将持续保持增长,这主要是受益于MEMS巨大的出货量,MEMS器件有望成为OSAT厂商的下一个增长点,同时传感器产业都将面临着其原始功能以外的两大主要挑战。据麦姆斯咨询报道,目前,大部分MEMS封装都是由OSAT厂商(外包半导体封装测试厂)完成的,预计未来五年OSAT市场将持续保持增长。随着MEMS出货量的持续扩大,尤其是RF(射频)应用...
类别:综合资讯 2018-01-29 标签: 封测厂 MEMS器件 传感器
MEMS器件能否为封测厂商带来新一轮增长?
(按MEMS器件类型细分)引自《MEMS封装市场及技术发展趋势-2017版》  Yole的分析师一直在持续跟踪研究MEMS器件相关的先进封装产业。对于这个充满活力的市场,Yole在其《MEMS封装市场及技术发展趋势-2017版》报告中给出了对该产业的独到见解,以及详细的技术和市场发展趋势。就封装和测试而言,MEMS器件会是OSAT厂商的下一个增长点吗?  在这个智能感知时代,随着智能设备...
类别:综合资讯 2018-01-29 标签: MEMS RF
博世:一部汽车用到的MEMS器件将超过50颗
,在各自领域供应链上无人能敌。在慕尼黑电子展上,博世的展台主要展出了其传感器与IP方案。  自动驾驶技术的实现离不开传感器,作为全球第一大MEMS传感器厂商,博世在汽车电子与消费电子领域表现都非常出色。Markus Sonnemann博士在汽车电子大会上表示,惯性MEMS器件发展的趋势是消费电子与汽车应用相融合,既要求高性能、多功能,又强调低功耗、小封...
类别:汽车电子 2016-12-14 标签: 博世 MEMS 慕尼黑电子展 MOEMS
圆片级测试MEMS器件的解决之道
MEMS产业发展十分迅速,但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来,MEMS器件和传统IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有额外的机械部分(大多是可活动的)和封装,这些部分的成本通常占其总成本的大部分,因此MEMS器件的特性比传统IC器件要复杂得多,而且各不相同。 有很多原因都可以说明在MEMS封装之前进行测试是有好处的:封装工艺的成本很高。在最终封装之后...
类别:其他技术 2016-09-27 标签: 圆片级测试 MEMS器件
2015年MEMS产业分析:小器件大市场
    新兴MEMS传感器、成本显著降低、软件和新技术的重要性日益增加、行业巨头和中国代工厂的崛起:2020年全球MEMS产业将超过200亿美元! MEMS产业越来越成熟,新兴器件不断涌现 2014年,硅基MEMS器件的市场规模达到111亿美元。由于智能手机和平板电脑的巨大市场需求,MEMS产业发展进入快车道,后续还有增长潜力无限的可穿戴...
类别:综合资讯 2015-05-12 标签: 2015 MEMS
医疗可穿戴智能设备的主要器件:MEMS传感器
实现差值放大。然后进行滤波等一系列中间信号处理,用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理,最后输出处理结果。     基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端,做一个远程胎心监护系统。医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结 果,医生对该结果进行诊断,如果有问题及时通知...
类别:传感器 2014-01-15 标签: 医疗可穿戴 智能设备 MEMS 传感器
压力传感器2014年将成为头号MEMS器件
据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器研究报告,由于价格相对较高,以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大,压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统(MEMS)器件。   因为汽车产业在衰退之后强劲复苏,去年压力传感器销售额比2009年增长26%,达到12.2亿美元,在所有MEMS器件中排名第二。今年增长将比较温和,预计增长6%,销售额将达到13...
类别:电子百科 2013-11-21 标签: 压力 传感器 MEMS器件
压力传感器2014年将成为头号MEMS器件
据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器研究报告,由于价格相对较高,以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大,压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统(MEMS)器件。   因为汽车产业在衰退之后强劲复苏,去年压力传感器销售额比2009年增长26%,达到12.2亿美元,在所有MEMS器件中排名第二。今年增长将比较温和,预计增长6%,销售额将达到13...
类别:综合资讯 2013-11-21 标签: 压力 传感器

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比2008年同期增长大约10%,这些数据表明,MEMS在消费电子市场的渗透率正在不断提高。据市调机构iSuppli的最近一份市场研究报告显示,2010年以及以后的MEMS市场前景光明,预计2010年MEMS市场重新回到的两位数增幅,2009-2013期间的总年复合增长率达到12.2%。事实上,MEMS传感器是消费电子实现创新应用不可或缺的关键元器件。近年来,从游戏机到手机,从笔记本电脑到白色家电...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 技术 推动 新型 消费 电子 应用 发展
论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟。Reduced-order...
类别:电路仿真 2013年09月19日 标签: MEMS器件缩减模型建模方法研究
微机电系统(MEMS器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电...
类别:电路仿真 2014年03月05日 标签: 静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计
微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS 器件MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS 器件的原理、结构和发展概况,指出了MEMS 器件发展所面临的问题和方向。...
类别:射频 2013年09月22日 标签: 通信领域中的MEMS器件及发展动态
分光比可调范围较小的情况。例如,对于5%:95%的光耦合器。超过10%的分光比虽然也可以实现,但两路加起来的总功率损耗会骤然增加。     ● MEMS型可调光耦合器     MEMS(微机电系统)技术由于其微型化、便于大规模集成等优点,已经被广泛应用于光通信系统。已有从事MEMS技术开发的公司推出了MEMS可调光耦合器。但是他们的器件也仅适合5%:95%这样分光比较小的情况。如果同样的器件要实现...
类别:PLC 2013年09月17日 标签: 可调谐光功率分配器应用及技术
,同时元件库内的所有元件均与MEMS器件级设计中的结构特征具有映射关系,这为用户需求空间!功能原理空间!结构空间之间的设计空间映射提供了方便.通过一个静电间隙执行器的系统建模过程与仿真结果,验证了利用该元件库进行建模与仿真的有效性.关键词:微机电元件库;键合图;建模;仿真;映射...
类别:射频 2013年11月06日 标签: 元件 键合 图库 微机电系统 机电系统
微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程,讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科,着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用,并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。关键词 MEMS 传感器 执行器 纳米技术 工艺Abstract : MEMS is a fast...
类别:嵌入式系统 2013年09月22日 标签: 微机电系统的发展与应用
随着MEMS 系统级设计成为研究的热点,MEMS 系统级CAD 的开发日益重要。论文介绍了一种基于降阶宏模型MEMS 系统级仿真平台,通过有限元方法提取MEMS 器件几何物理数据,建立MEMS 器件有限元模型,利用Krylov 子空间算法缩聚自由度建立宏模型,通过系统级仿真平台对此进行系统级仿真。 整个流程通过VC++编译器调用ANSYS、嵌入封装的算法动态链接库、集成SIMULINK 系统...
类别:其他 2013年09月17日 标签: MEMS降阶宏模型仿真平台研究
MEMS3轴陀螺仪那么什么是三轴陀螺仪呢?简单的说来就是3D版的重力感应,iPhone4现在除了可以感应手机左右的晃动以外还能感受到前后的倾斜,这对于未来游戏或者软件的设计来说又提出了新的概念,我们希望在未来能够看见更多的基于陀螺仪的应用。mems陀螺仪[pic]即硅微机电陀螺仪,绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: MEMS3 轴陀 螺仪
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析. 在此基础上,论述了MEMS 技术目前存在的问题和未来发展的趋势.关键词...
类别:其它 2013年09月22日 标签: 微机

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并提高可靠性。 无论您是从事研发、质保还是质检工作,E4990A 都可以帮助您出色地表征和测试电子元器件、半导体器件和材料。 E4990A阻抗分析仪 应用示例: 无源元器件:电容器、电感器、铁氧体磁珠、电阻器、变压器或晶体/陶瓷谐振器的阻抗测量。 半导体元器件:变容二极管的 C-V 特征分析。二极管、晶体管、放大器或 MEMS 的阻抗测量。 其他元器件:印刷电路板元器件的阻抗测量...
0次浏览 2018-12-04 信息发布

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可选)波分复用器:CWDM 和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128),磁光开关1xN,MxN光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm...
0次浏览 2018-11-29 信息发布

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:} 感谢各位网友的帮助答疑,@各位版主,@各位网友 感谢EEWORLD,让我认识与学习到很多东西。 感谢一路有你的陪伴,EE。 感谢eeworld,让我们学到知识,解决问题,还拿到了奖品[url=home.php?mod=space&uid=536508]@okhxyyo[/url] @littleshrimp 跟着您学到了ST MEMS传感器的一些应用和Sensor Tile使用技巧...
2402次浏览 2018-11-20 聊聊、笑笑、闹闹

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esp32(是时候表演真正的技术了) 你是如何变成程序员的? 说说电动汽车有哪些技术难点。原来电动机并不是核心 @lb8820265 当BLE遇到MEMS——惯性系统的基础知识 @他们逼我做卧底 RF干货:什么是波束赋形?什么是Massive MIMO?终于有人把它讲清楚了 @没钱的发烧友 东芝光继电器...
0次浏览 2018-10-29 聊聊、笑笑、闹闹 标签: 一周精彩回顾

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给予达成成就的机会,宽容诚实的错误。公司产品:光纤分路器:拉锥(分光比1~99%/单模/PM可选)和PLC(单模/PM可选)波分复用器:CWDM 和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128),磁光开关1xN,MxN光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级...
0次浏览 2018-10-15 信息发布

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,压控振荡器,压控晶体振荡器(VCXO),温补晶体振荡器(TCXO).创建属于自己的独特的核心技术和设备,使用这些作为基地的规划和设计提供独特价值的产品,生产或制造的艺术和科学,积累了多年的专业知识。爱普生株式会社EPSON晶振通过追求以QMEMS 技术为核心的“省、小、精”技术,创造并提供专研了压电水晶元器件及其关联产品.爱普生压控温补晶体振荡器晶振型号频率范围(MHZ)电压范围(V)尺寸LxWxH...
101次浏览 2018-10-08 信息发布

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的“超结”结构是需要通过深度蚀刻技术来实现的。当这种结构结合到横向场效应晶体管中时,击穿电压能够达到10kV以上。这种超结漂移区和其他深蚀刻结构也会对垂直器件有益。对于激光二极管,晶片切割应用和微机电系统(MEMS)的脊形制造,同样需要高质量的快速蚀刻速率工艺。目前, PEC已经应用于台面,栅极凹陷和垂直腔面发射激光器(VCSEL)制造工艺上。 一般情况下,我们通过干等离子体蚀刻(如电感耦合...
101次浏览 2018-09-30 信息发布

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和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128)光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm)。准直器:单纤 双纤 4纤 9纤 (PM),波长...
101次浏览 2018-09-29 信息发布

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和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128)光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm)。准直器:单纤 双纤 4纤 9纤 (PM),波长...
101次浏览 2018-09-26 信息发布

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和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128)光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm)。准直器:单纤 双纤 4纤 9纤 (PM),波长...
101次浏览 2018-09-26 信息发布

MEMS器件视频

MEMS与微系统
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件,尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。 课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合;着重提取基础、重点和共性...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 微系统 王喆垚
集成MEMS传感系统设计与应用
微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 集成传感器 朱荣

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