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MEMS

    MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。微机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果,使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域,涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

    意法半导体(STMicroelectronics)是唯一拥有从运动传感器、MEMS麦克风、环境传感器、微流控部件到微镜以及微致动器等技术并拥有规模生产测试能力的半导体公司。针对物联网应用,ST AMG部门还推出了低功耗蓝牙和1Ghz以下频段无线产品,与STM32一同为计算-传感-连接的物联网“三体”架构提供了产品保障。意法半导体MEMS BBS版面专注于MEMS产品的介绍普及,技术探讨,应用案例分享等,欢迎广大网友踊跃参与,与我们分享你独特的见解,在版块内开启头脑风暴吧!

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在电子工程世界为您找到如下关于“MEMS”的新闻

自动驾驶新驱动力:点云算法如何释放激光雷达威力?

自动驾驶新驱动力:点云算法如何释放激光雷达威力?

分成两类:扫描式激光雷达和非扫描式激光雷达。  1、扫描式激光雷达  机械式旋转激光雷达(发射、接收、共轴旋转的激光雷达),这是目前比较成熟的,在下游无人驾驶使用比较多的方案。比较有代表性的有 Velodyen、Ibeo,包括我们现在在量产的也是这种机械式的激光雷达。混合固态也是机械式旋转类的激光雷达。  另外一种是 MEMS。基于 MEMS 的扫描式雷达目前属于在研状态,它的...

类别:行业动态 2017-07-24 10:58:48 标签: 自动驾驶 激光雷达

中关村智造大街崛起 打造智能制造创新高地

因主打“硬科技”孵化,成为中国智能制造创新高地。  MEMS传感器、量子点芯片、人工智能、工业大数据安全等,这些听起来有些拗口的专业名词,却成为中关村智造大街力捧的核心产业。“我们关注的是,要在引领智能制造领域的关键技术上发力,聚焦‘高精尖’,哪怕现阶段不能形成产出”,中关村智造大街运营公司总经理程静说。  目前,全球首款消费级模块化机器人(18.920, -0.24...

类别:综合资讯 2017-07-24 09:57:35 标签: 智能制造

自动驾驶离不开雷达的作用

自动驾驶离不开雷达的作用

机械式旋转激光雷达(发射、接收、共轴旋转的激光雷达),这是目前比较成熟的,在下游无人驾驶使用比较多的方案。比较有代表性的有 Velodyen、Ibeo,包括我们现在在量产的也是这种机械式的激光雷达。混合固态也是机械式旋转类的激光雷达。另外一种是 MEMS。基于 MEMS 的扫描式雷达目前属于在研状态,它的原理是通过 MEMS 扫描镜来改变光路。还有一种是相控阵激光雷达(OPA...

类别:汽车电子 2017-07-23 09:57:12 标签: 自动驾驶 激光雷达 毫米波雷达

汇总深圳15大无人机制造商和国内外无人机材料供应商

汇总深圳15大无人机制造商和国内外无人机材料供应商

;除此之外,英特尔早在此前就已经投资了两家无人机公司Airware和Precisionhawk,还于2015年收购了可穿戴设备与智能眼镜制造商Recon,以及致力于算法研究的德国无人机制造商AscendingTechnologies。 ST(意法半导体)主控:STM32系列。ST全套MEMS陀螺仪,加速度计,传感器,电源管理芯片。 ST(意法半导体的STM32L0...

类别:工业电子 2017-07-21 20:55:19 标签: 无人机 大疆 主控芯片 飞控系统 传感器

三安光电等厂商积极增产,二季度台湾LED微幅上升

MicroLED、砷化镓和氮化镓新业务,华灿光电积极布局MEMS新业务,新晋LED芯片龙头新业务将突破天花板,打开全新市场空间。...

类别:工业电子 2017-07-21 20:53:27 标签: LED LED芯片 晶电 三安光电

自动驾驶离不开雷达的作用

自动驾驶离不开雷达的作用

目前分成两类:扫描式激光雷达和非扫描式激光雷达。1、扫描式激光雷达机械式旋转激光雷达(发射、接收、共轴旋转的激光雷达),这是目前比较成熟的,在下游无人驾驶使用比较多的方案。比较有代表性的有 Velodyen、Ibeo,包括我们现在在量产的也是这种机械式的激光雷达。混合固态也是机械式旋转类的激光雷达。另外一种是 MEMS。基于 MEMS 的扫描式雷达目前属于在研状态,它的原理是...

类别:行业动态 2017-07-21 17:48:36 标签: 自动驾驶 激光雷达 毫米波雷达

中微半导体成唯一进入台积电 7nm 制程的大陆本土设备商

460多个介质刻蚀反应台,并在海内外27条生产线上生产了约4000多万片晶圆;同时,中微还开发了12英寸的电感型等离子体ICP刻蚀机;此外,中微还开发了8英寸和12英寸TSV硅通孔刻蚀设备,不仅占有约50%的国内市场,而且已进入台湾、新加坡、日本和欧洲市场,尤其在MEMS领域拥有意法半导体(ST)、博世半导体(BOSCH)等国际大客户。  在专利方面,中微共申请了超过800件相关...

类别:市场动态 2017-07-20 14:00:35 标签: 中微 7nm

中国半导体要自强 设备产业四关待过

);北方微电子在LED和MEMS领域刻蚀机市场,以及先进封测领域的PVD市场,国内占有率已超过50%,领先海外竞争对手;中微半导体的电介质刻蚀设备、TSV刻蚀设备也已走出国门。然而整体来看,全球半导体设备由寡头垄断已久的局面仍未改变,在中国政策与资金等多方面资源的强力支持下,中国产半导体设备将继续挑战提升在中国及国际市场的渗透率。  出货量少,产线机台验证低效:一台设备从研发到...

类别:市场动态 2017-07-19 14:27:36 标签: 半导体 晶圆

中微半导体成唯一进入台积电 7nm 制程的大陆本土设备商

MEMS 领域拥有意法半导体(ST)、博世半导体(BOSCH) 等国际大客户。在专利方面,中微共申请了超过800件相关专利,其中绝大部分是发明专利,目前有一半以上已获授权。...

类别:工艺设备 2017-07-19 10:37:12 标签: 中微

物联网感测组件技术概述

物联网感测组件技术概述

,拜集成电路(IC)、无线通信(Wireless Communication)与微机电(MEMS)等技术的加持,传感器(Sensor)技术越来越先进,不仅传感器越做越小,从区域的感测点布置、网络节点(Sensor Node)到整体布设成本都能获得有效的缩减。唯有低功耗、高整合度,甚至具备环境撷取能力的传感器得以胜出。IP Cam建构数字家庭的物联网应用。以众多无线传感器...

类别:物联网与云计算 2017-07-19 10:30:38 标签: 物联网 智能化 大数据

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MEMS资料下载

MEMS技术推动新型消费电子应用发展立即下载

MEMS技术推动新型消费电子应用发展MEMS技术推动新型消费电子应用发展 [pic]时间:2010年11月03日尽管2009年全球经历了空前的经济危机,但是MEMS市场并没有受到影响,市场总值几乎与2008持平,出货量比...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 技术 推动 新型 消费 电子 应用 发展

MEMS产业化面临的机遇与挑战立即下载

微机电系统(MEMS)是一门新兴的交叉学科。MEMS 能够实现各类产品的微型化、集成化、便携化,在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了MEMS 产业化的意义,并用SWOT 法分析了中国MEMS 产业化的现状以及面临的机遇与挑战。关键词:MEMS;产业化;机遇Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising...

类别:射频与通信技术 2013年09月19日 标签: MEMS产业化面临的机遇与挑战

Introduction to MEMS立即下载

Introduction to MEMSCourse No. 04813190 MEMS DEVICES AND DESIGN , Spring 2004Lecture1: Introduction to MEMSHaixia Zhang Institute of Microelectronics, PKUMEMS DEVICES AND DESIGN...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: Introduction

MEMS传感器的封装立即下载

MEMS作为21世纪的前沿高科技,在产业化道路上已经发展了20多年,今天,MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点,已经有了很大的市场,早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成的封装工艺,MEMS产品中,由于各类产品的使用范围和应用环境的差异,其封装也没有一个统一的形式[1],应根据具体的使用情况选择适当的封装,同时,在MEMS产品的制造...

类别:PCB设计技巧 2013年09月21日 标签: MEMS 传感器 封装

静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar立即下载

微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电...

类别:电路仿真 2014年03月05日 标签: 静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计

《Foundations of MEMS(第一版)》英文版立即下载

《Foundations of MEMS(第一版)》英文版 作者:Chan Liu 简介:此书为MEMS经典教材,是MEMS初学者的必读教材。文中介绍了MEMS( Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)的发展史,介绍了微制造技术(microfabrication),并回顾了机电相关的基础知识,然后详细深入的介绍了MEMS系统中每一个细节电路的知识。...

类别:工业控制 2015年01月29日 标签: MEMS

MEMS器件缩减模型建模方法研究立即下载

论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟。Reduced-order...

类别:电路仿真 2013年09月19日 标签: MEMS器件缩减模型建模方法研究

陀螺仪基础知识立即下载

陀螺仪MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化。 但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS 陀螺仪利用科里奥利力――旋转 物体在有...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 陀螺

新型硅晶体(基于MEMS)立即下载

硅晶体400-888-2483MEMS 硅晶振 VS 石英晶振(连载一) 之前言好久没写点东西了,最近抽空写了篇《MEMS 硅晶振 VS 石英晶振》 (连载) ,文章从石 英晶振基础开始讲,涉及到石英晶振的生产工艺、以及 MEMS 硅晶振的详细介绍。并对两 个者进行了相关比较。意在让大家更多的了解些新的产品技术,当然也推一下产品哈。下面 写一下目录: 一、 二...

类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 硅晶

《微机电系统设计与制造》立即下载

书名:《微机电系统设计与制造》 作者:刘晓明 朱钟金 出版社:国防工业出版社 简介:本书概要的介绍MEMS的设计与制造,全书共分7章,内容包括,MEMS的概论,MEMS的设计,集成电路(IC)基本制造技术,MEMS的制造技术,为传感器,为执行期以及MEMS的应用及检测技术。 本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习,使读者能够在集成电路制造技术方面,获得...

类别:工业控制 2016年07月21日 标签: 微机电系统

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