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MEMS

    MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。微机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果,使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域,涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

    意法半导体(STMicroelectronics)是唯一拥有从运动传感器、MEMS麦克风、环境传感器、微流控部件到微镜以及微致动器等技术并拥有规模生产测试能力的半导体公司。针对物联网应用,ST AMG部门还推出了低功耗蓝牙和1Ghz以下频段无线产品,与STM32一同为计算-传感-连接的物联网“三体”架构提供了产品保障。意法半导体MEMS BBS版面专注于MEMS产品的介绍普及,技术探讨,应用案例分享等,欢迎广大网友踊跃参与,与我们分享你独特的见解,在版块内开启头脑风暴吧!

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在电子工程世界为您找到如下关于“MEMS”的新闻

聚合物基MEMS有望助力超声波成像普及
ultrasound transducers,以下简称CMUT,亦称电容式MEMS超声波换能器)。该研究在题为“Fabrication and testing of polymer-based capacitive micromachined ultrasound transducers for medical imaging”的论文中详细论述,该论文发表于Microsystems...
类别:医学成像 2018-10-09 标签: MEMS 超声波成像
    MEMS麦克风长期以来一直备受关注,是近五年来所有MEMS产品中复合年增长率最高的器件之一。2008年,MEMS麦克风的市场规模约为1.05亿美元,2012年增长至4.02亿美元,2016年更是达到了10亿美元里程碑。目前,MEMS麦克风的年出货量已经达到了45亿颗。终端需求放缓 MEMS麦克风缺货得到缓解2017年,电子元器件爆发了缺货...
类别:综合资讯 2018-10-06 标签: MEMS麦克风 国产化替代
意法半导体看好汽车MEMS传感器市场 期待爆发性成长
意法半导体传感产品部总监Simone Ferri看好汽车微机电系统(MEMS)将在半导体市场成为下一波浪潮,意法半导体(STMicroelectronics,STM)表示,预估今年MEMS业务成长8%,有消费类、工业与汽车三大应用,其中有50%以上是消费类应用,其余则为工业与汽车。意法半导体传感产品部总监Simone Ferri近日表示,因为智能手机、移动网络、社群媒体等造就...
类别:车用传感器/MCU 2018-09-27 标签: MEMS 传感器 意法半导体
详解意法半导体将如何布局智能工业MEMS市场
根据Yole Developpement年初的统计显示,2017年全球MEMS市场总额预计为129亿美元,比2016年的114亿美元增长了13%,尽管增速依然超过了半导体平均增速,但和几年前相比,增速已经放缓。 什么叫做MEMS?在此先做个小科普:它的全称Micro Electromechanical System,简称微机电系统。它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技...
类别:综合资讯 2018-09-13 标签: MEMS ST
2018年MEMS市场将达127亿美元 未来五年平均售价趋稳
近日,IC Insights发布最新MEMS报告,2018年MEMS传感器预计将占据93亿美元半导体传感器市场的73%,占全年241亿颗总出货量的47%。   包括加速度计、陀螺仪、压力传感器和麦克风等在内的MEMS传感器市场规模,预计将以10%的年增长率,从2017年的61亿美元增长至2018年的68亿美元。   MEMS传感器的出货量预计将在2018年...
类别:综合资讯 2018-09-13 标签: MEMS
耐威科技日前接待了海通证券、大成基金、建信基金等五家投资机构调研,耐威科技表示,公司以传感技术为核心,紧密围绕物联网、军工电子两大产业链,一方面大力发展MEMS、导航、航空电子三大核心业务,一方面积极布局智能制造、无人系统、第三代半导体材料和器件等潜力业务,致力于成为具备高竞争门槛的一流民营科技企业集团。 在MEMS芯片工艺开发及晶圆制造方面,耐威科技主要存在...
类别:市场动态 2018-09-13 标签: 耐威科技MEMS
需求不断增加,未来MEMS传感器市场价格趋于稳定!
IC Insights最新发布的一份报告预测,2018年,全球传感器市场规模将会达到93亿美元,其中MEMS传感器销售额占比73%。同时,在出货量方面,MEMS传感器约在全球总出货量的47%。值得注意的是,过去几年中,MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。数据显示,2016年,MEMS传感器销售额为52亿美元;2017年增张17%,达到61亿美元;IC Insights...
类别:工业电子 2018-09-07 标签: MENS 传感器
伴随着填补国内空白、具有国际领先水平的罕王微电子8英寸纯MEMS传感器芯片规模化量产线落户沈阳沈抚新区,将促进沈抚新区在传感器、物联网产业领域开疆拓土,罕王微电子产品应用广泛,可用于消费电子、汽车电子、工业控制、无人机、机器人、5G通讯甚至生物医药、航空航天、物联网、智能电网等领域,市场前景广阔。 沈抚新区举全力推进罕王微电子的MEMS项目,旨在期待罕王微电子...
类别:综合资讯 2018-08-31 标签: 罕王微电子 MEMS
村田制作所计划在芬兰万塔新建工厂,以提高其传感器的生产能力。据了解,村田将对新的芬兰合资企业投入约4200万欧元,所生产的MEMS传感器将用于汽车安全系统和起搏器等应用领域。近年来,村田正在显著提升其在全球的生产能力,除了计划在芬兰新建工厂之外,村田还购买了此前租赁的建筑,并在此基础之上建造一个超过16万平方米的新建筑,预计这一设施将在2019年年底前完成。“先进...
类别:市场动态 2018-08-22 标签: MEMS 村田
最新 MEMS 惯性模块助力克服程序开发中面临的挑战
1. 前言采用微机电系统 (MEMS) 的惯性测量单元 (IMU) ,其定义就是一种系统级封装芯片 (SiP) 。 其中包含一个加速仪机械感测组件、一个陀螺仪机械感测组件,还有一个能把加速和角速度转换成可读取格式的电子电路系统(也就是所谓的「脑部」)。 MEMS惯性测量单元已经发展...
类别:传感器 2018-07-26 标签: MEMS 意法半导

MEMS资料下载

Introduction to MEMSCourse No. 04813190 MEMS DEVICES AND DESIGN , Spring 2004Lecture1: Introduction to MEMSHaixia Zhang Institute of Microelectronics, PKUMEMS DEVICES AND DESIGN...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: Introduction
MEMS技术推动新型消费电子应用发展MEMS技术推动新型消费电子应用发展 [pic]时间:2010年11月03日尽管2009年全球经历了空前的经济危机,但是MEMS市场并没有受到影响,市场总值几乎与2008持平,出货量...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 技术 推动 新型 消费 电子 应用 发展
微机电系统(MEMS)是一门新兴的交叉学科。MEMS 能够实现各类产品的微型化、集成化、便携化,在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了MEMS 产业化的意义,并用SWOT 法分析了中国MEMS 产业化的现状以及面临的机遇与挑战。关键词:MEMS;产业化;机遇Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising...
类别:射频 2013年09月19日 标签: MEMS产业化面临的机遇与挑战
硅晶体400-888-2483MEMS 硅晶振 VS 石英晶振(连载一) 之前言好久没写点东西了,最近抽空写了篇《MEMS 硅晶振 VS 石英晶振》 (连载) ,文章从石 英晶振基础开始讲,涉及到石英晶振的生产工艺、以及 MEMS 硅晶振的详细介绍。并对两 个者进行了相关比较。意在让大家更多的了解些新的产品技术,当然也推一下产品哈。下面 写一下目录...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 硅晶
陀螺仪MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化。 但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS 陀螺仪利用科里奥利力――旋转 物体在有...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 陀螺
MEMS作为21世纪的前沿高科技,在产业化道路上已经发展了20多年,今天,MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点,已经有了很大的市场,早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成的封装工艺,MEMS产品中,由于各类产品的使用范围和应用环境的差异,其封装也没有一个统一的形式[1],应根据具体的使用情况选择适当的封装,同时,在MEMS产品...
类别:PCB设计技巧 2013年09月21日 标签: MEMS 传感器 封装
论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟。Reduced-order...
类别:电路仿真 2013年09月19日 标签: MEMS器件缩减模型建模方法研究
微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电...
类别:电路仿真 2014年03月05日 标签: 静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计
MEMS System Design》完整英文版 PDF 作者:James Allen 内容: Chapter 1. Introduction Chapter 2. Fabrication Processes Chapter 3. MEMS Technologies Chapter 4. Scaling Issues for MEMS Chapter 5. Design...
类别:模拟及混合电路 2017年02月26日 标签: MEMS
MEMS 经典教材 he field of microelectromechanical systems (MEMS), particularly micromachined mechanical transducers, has been expanding over recent years, and the production costs of these devices...
类别:射频 2013年09月22日 标签: MEMS 经典教材

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给予达成成就的机会,宽容诚实的错误。公司产品:光纤分路器:拉锥(分光比1~99%/单模/PM可选)和PLC(单模/PM可选)波分复用器:CWDM 和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128),磁光开关1xN,MxN光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级...
0次浏览 2018-10-15 信息发布

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产品特性:             LCT510T 型倾角传感器是咏为传感开发的一款小体积电压输出型MEMS传感器,输出电压0~5V,0~10V可选,内置最新的微机电倾角单元,体积小、功耗低,工作温度达到工业级别-40~+85℃。能实时输出姿态倾角,精度可达0.1°。抗干扰能力强,可适应恶劣的工业环境,产品使用简单...
0次浏览 2018-10-12 信息发布

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本帖最后由 大秦正声 于 2018-10-13 14:59 编辑 一. 系统介绍             我的参赛作品使用了兆易创新官方GD32F350评估板,直立平衡车使用倒立摆控制模型,连续采样传感器获得小车运动姿态,通过pwm以及蓝牙通信控制小车运动方向。涵盖了MCU软硬件,机械,电机驱动,mems传感器...
2027次浏览 2018-10-11 【GD32 MCU】

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任何的影响。横河EJA系列变送器的特点如下:·世界首创一单晶硅谐振传感器·采用微电子机械加工高新技术( MEMS)·传感器直接输出频率信号,简化与数字系统的接口高精度,一般为+0.075%·高稳定性和可靠性·连续十万次过压试验后影响量≤0.03%/16MPa·连续工作五年不需要调校零点·BRAIN/HART/FF现场总线三种通讯协义供选择完善的自诊断及远程设定通讯功能可无需三阀组而直接安装使用基本品的接...
101次浏览 2018-10-08 信息发布

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,压控振荡器,压控晶体振荡器(VCXO),温补晶体振荡器(TCXO).创建属于自己的独特的核心技术和设备,使用这些作为基地的规划和设计提供独特价值的产品,生产或制造的艺术和科学,积累了多年的专业知识。爱普生株式会社EPSON晶振通过追求以QMEMS 技术为核心的“省、小、精”技术,创造并提供专研了压电水晶元器件及其关联产品.爱普生压控温补晶体振荡器晶振型号频率范围(MHZ)电压范围(V)尺寸LxWxH...
101次浏览 2018-10-08 信息发布

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的“超结”结构是需要通过深度蚀刻技术来实现的。当这种结构结合到横向场效应晶体管中时,击穿电压能够达到10kV以上。这种超结漂移区和其他深蚀刻结构也会对垂直器件有益。对于激光二极管,晶片切割应用和微机电系统(MEMS)的脊形制造,同样需要高质量的快速蚀刻速率工艺。目前, PEC已经应用于台面,栅极凹陷和垂直腔面发射激光器(VCSEL)制造工艺上。 一般情况下,我们通过干等离子体蚀刻(如电感耦合...
101次浏览 2018-09-30 信息发布

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思立微电子在MEMS超声技术上历时两年的潜心研发,取得了突破性进展。其自主研发的超声换能器已通过系列性能测试,在10MHz频点转换效率可达1.5%,表现出优异的性能,并已应用到下一代超声指纹识别芯片的研发中。     思立微所采用的压电超声换能器(PMUT)利用氮化铝的压电效应进行电能和机械能之间的转换来侦测手指表皮和真皮层的谷脊信息,以做出精确的判断。     氮化铝...
0次浏览 2018-09-30 信息发布

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和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128)光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm)。准直器:单纤 双纤 4纤 9纤 (PM),波长...
101次浏览 2018-09-29 信息发布

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智能传感器产业取得明显突破,产业生态较为完善,涌现出一批创新能力较强、竞争优势明显的国际先进企业,技术水平稳步提升,产品结构不断优化,供给能力有效提高。   产业规模快速壮大。智能传感器产业规模达到260亿元;主营业务收入超10亿元的企业5家,超亿元的企业20家。   创新能力显著增强。建成智能传感器创新中心;模拟仿真、设计、MEMS工艺、晶圆级封装和个性化测试技术达到国际水平;涵盖智能传感器...
105次浏览 2018-09-28 信息发布

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和DWDM光开关:机械光开关,MEMS光开关 ;1xN ,MXN (2<N<128,2<M<128)光衰减器:在线式光衰减器,机械式光衰减器,mems光衰减器(mini型 外径3.5mm),军工级别,电信级别。光纤延迟线:手动光延迟线,电动光延迟线,固定分段延迟线(保偏型,延迟范围0~1500ps,波长980~1650nm)。准直器:单纤 双纤 4纤 9纤 (PM),波长...
101次浏览 2018-09-26 信息发布

MEMS视频

2010全球电子峰会:MEMS is HOT(上)
主持人Gartner公司调查总监Stephan Ohr(左1,以下按此顺序)说,非光学MEMS传感器(注:光学如TI的DLP)中,2010年市场容量会突破30亿美元,有望达到31亿美元;2009年为28亿美元。汽车应用仍然保持非光学传感器的第一位,占2009年总应用中的60%以上;但是数据处理和通信...
2014-01-01 标签: ADI MEMS
集成MEMS传感系统设计与应用
微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 集成传感器 朱荣
MEMS与微系统
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件,尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。 课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合;着重提取基础、重点和共性...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 微系统 王喆垚
ADI公司MEMS陀螺仪的抗振性
本视频是ADI公司MEMS陀螺仪和同类陀螺仪产品的对比演示,比较两者对错误输出激励的响应。可以看出,我们的结果新款陀螺仪具有高抗振动、抗冲击性和抗线性加速度特性。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS 抗振性
用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件(下)
本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。...
2013-01-01 标签: 传感器 ADI 医疗电子 MEMS 医疗保健
用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件(上)
本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。...
2013-01-01 标签: 传感器 ADI 医疗电子 MEMS 医疗保健
利用MEMS惯性传感器实现头部冲击遥测系统
本演示视频介绍Simbex Corporation的足球场冲撞分析系统。每个头盔内置6个高g值加速度计、一个DSP和发射机。系统通过一台笔记本电脑以无线形式接收数据、完成数据分析,并显示冲击的幅度和方向。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS 遥测系统 头部冲击
为何不马上使用MEMS麦克风呢?
自从1960年代起,麦克风技术就未曾有大的进步……现在这一情况将彻底改变。本视频将介绍ADI MEMS麦克风技术的独特优势。ADMP441是一款高性能、低功耗、数字输出、全向MEMS麦克风。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS麦克风 ADMP441
Description The X-NUCLEO-IDS01A4 is an evaluation board based on the SPIRIT1 RF module SPSGRF-868 expansion of STM32 Nucleo boards. The SPSGRF-868 mod...
2016-11-02 标签: MEMS 传感器 ST

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