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MEMS

    MEMS是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文缩写。微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。微机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果,使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域,涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

    意法半导体(STMicroelectronics)是唯一拥有从运动传感器、MEMS麦克风、环境传感器、微流控部件到微镜以及微致动器等技术并拥有规模生产测试能力的半导体公司。针对物联网应用,ST AMG部门还推出了低功耗蓝牙和1Ghz以下频段无线产品,与STM32一同为计算-传感-连接的物联网“三体”架构提供了产品保障。意法半导体MEMS BBS版面专注于MEMS产品的介绍普及,技术探讨,应用案例分享等,欢迎广大网友踊跃参与,与我们分享你独特的见解,在版块内开启头脑风暴吧!

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在电子工程世界为您找到如下关于“MEMS”的新闻

最新 MEMS 惯性模块助力克服程序开发中面临的挑战
1. 前言采用微机电系统 (MEMS) 的惯性测量单元 (IMU) ,其定义就是一种系统级封装芯片 (SiP) 。 其中包含一个加速仪机械感测组件、一个陀螺仪机械感测组件,还有一个能把加速和角速度转换成可读取格式的电子电路系统(也就是所谓的「脑部」)。 MEMS惯性测量单元已经发展...
类别:传感器 2018-07-26 标签: MEMS 意法半导
英特尔与SiTime联手开发5G调制解调器MEMS时钟解决方案
英特尔与MEMS时钟方案提供商SiTime公司宣布,将共同为英特尔5G调制解调器平台开发耐用、小型、低功耗的微机电(MEMS)时钟解决方案。SiTime公司的MEMS产品具备增强的高可靠性和对环境刺激的高耐受度,已应用于消费级电子产品、网络和通信基础设施、医疗、工业和汽车应用等领域。SiTimeMEMS时钟解决方案产品零件小巧且低功耗,能将稳定性、可靠性和性能提升20倍...
类别:综合资讯 2018-07-26 标签: 英特尔 SiTime MEMS
意法半导体发力智能工业MEMS传感器
在人类文明进化的长河中,三次工业革命不仅给人类文明带来了巨大的转变,其所释放的生产力更是远远超过数千年文明所积累的总和。工业革命使人类突破了地理的限制;电力革命带来的大规模制造使人类突破了组织规模的限制;信息技术革命带领人类突破了物理世界的限制。而现在,第四次工业革命——智能工业时代已来临。目前,中国工业4.0建设正在如火如荼地推进当中。世界领先的半导体厂商、MEMS传感器...
类别:综合资讯 2018-07-24 标签: 意法半导体 智能工业
借助RF滤波器,博通成为2017年最大MEMS供应商
无论是博世(Robert Bosch)还是意法半导体(STMicroelectronics;ST),都没能在2017年全球MEMS市场排名中拔得头筹。今天,世界上最大的的全球微机电系统(MEMS)供应商是——博通(Broadcom)!谁想得到呢?根据法国市场市调公司Yole Développement发布的MEMS最新报告,去年,博通的排名首次超过了MEMS产业中的所有常见...
类别:综合资讯 2018-07-05 标签: RF滤波 博通 MEMS
MEMS微机电组件2018~2023年CAGR达17.5%
微机电(MEMS)市场将在2018年至2023年间达17.5%的年复合平均成长,2023年市场规模达310亿美元,研究机构Yole Développement(Yole)指出,RF组件在MEMS产业发展中扮演着关键角色, 若不计RF,MEMS市场同期间的成长率降至9%。 随着向5G转型的复杂性及其带来的更高带宽的驱动,4G/5G对射频滤波器的需求日益增加,使RF MEMS...
类别:综合资讯 2018-06-26 标签: MEMS
为什么是MEMS?MEMS技术在定向钻进的应用
  据麦姆斯咨询报道,随着石油和天然气行业刚刚从长期的低迷期恢复,运营商们对提高井下井智能性、提高技术可靠性、加快钻井速度并降低将井下作业联网成本等有强烈的需求。这些因素共同开创了基于微机电系统(MEMS)的定向钻进传感器技术的新时代。  在油气钻探历史上,涉及钻井传感器技术的基本原理和方式只发生过两次改变。钻孔传感器的发明最早出现于20世纪20年代。在此之前,该行业基本是...
类别:工业电子 2018-06-19 标签: 传感器技术 油气钻探 MEMS技术
矽睿范翔:公司最新6轴IMU性能已超欧美主要对手
引擎上,矽睿使用Cortex-M0实现融合算法,与过去Cortex-M3的性能一样,同时降低了综合功耗。范翔强调,MEMS和ASIC不同,包括设计工艺之外,在封装上也需要重视,矽睿也为此开发了大量专利。范翔表示,目前国产IMU还没有被市场广泛接受,而随着矽睿的产品在噪声、功耗以及精度方面的进步,使产品达到了主流性能。范翔表示,QMI8610已实现量产,在智能门锁等智能家居应用中...
类别:综合资讯 2018-06-11 标签: 矽睿 传感器 IMU MEMS
哈佛大学利用MEMS技术成功模仿人体器官 有望替代动物试验
据麦姆斯咨询报道,MEMS器件领先供应商Sensera将其MEMS技术应用到了生物工程领域的新应用。该公司的MEMS技术被Harvard University(美国哈佛大学)用于“打造”微流控器件,以模仿人体器官的功能,包括肺、肠、肾、皮肤、骨髓和血脑屏障。“Sensera是一家能够提供关键MEMS器件制造的重要合作伙伴,帮助我们实现精准医疗和个性护理领域的新应用...
类别:综合资讯 2018-06-07 标签: MEMS 传感器
200毫米产能需求旺盛,主要来自模拟、MEMS与射频
观点来源:半导体工程网制造部执行主编MARK LAPEDUS模拟器件、微机电系统(MEMS)和射频芯片需求量的持续增加带来对直径是200毫米晶圆的芯片制造厂产能和设备需求的大增,且没有停止的迹象。成本考虑200毫米晶圆制造包含大量在老旧200毫米晶圆厂成熟节点上制造的器件,这些产品包括消费类器件、通信集成电路和传感器,不包括在300毫米晶圆厂中制造的先进芯片。并不是所有的芯片...
类别:市场动态 2018-05-31 标签: 模拟 MEMS 射频 200毫米 晶元 Foundry
自驾Level 5关键零组件?LiDAR吸金有道
投资。  相较由Velodyne发表的产品,使用波长在830~940nm之间的雷射光制作的机械式光达,MEMS固态光达有望成为汽车光学式雷达的下一个发展方向,优点包括体积更小,成本更低。未来应该是Quanergy提出的光学相控数组,已经不搭载旋转组件,产品可以变得更便宜、更小且更安全。另外,像Continental和Xenomatix提出了闪光LiDAR,其中整个场景同时被照亮...
类别:行业动态 2018-05-30 标签: LiDAR MEMS

MEMS资料下载

Introduction to MEMSCourse No. 04813190 MEMS DEVICES AND DESIGN , Spring 2004Lecture1: Introduction to MEMSHaixia Zhang Institute of Microelectronics, PKUMEMS DEVICES AND DESIGN...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: Introduction
MEMS技术推动新型消费电子应用发展MEMS技术推动新型消费电子应用发展 [pic]时间:2010年11月03日尽管2009年全球经历了空前的经济危机,但是MEMS市场并没有受到影响,市场总值几乎与2008持平,出货量...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 技术 推动 新型 消费 电子 应用 发展
微机电系统(MEMS)是一门新兴的交叉学科。MEMS 能够实现各类产品的微型化、集成化、便携化,在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了MEMS 产业化的意义,并用SWOT 法分析了中国MEMS 产业化的现状以及面临的机遇与挑战。关键词:MEMS;产业化;机遇Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising...
类别:射频 2013年09月19日 标签: MEMS产业化面临的机遇与挑战
硅晶体400-888-2483MEMS 硅晶振 VS 石英晶振(连载一) 之前言好久没写点东西了,最近抽空写了篇《MEMS 硅晶振 VS 石英晶振》 (连载) ,文章从石 英晶振基础开始讲,涉及到石英晶振的生产工艺、以及 MEMS 硅晶振的详细介绍。并对两 个者进行了相关比较。意在让大家更多的了解些新的产品技术,当然也推一下产品哈。下面 写一下目录...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 硅晶
陀螺仪MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化。 但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS 陀螺仪利用科里奥利力――旋转 物体在有...
类别:科学普及 2013年09月29日 标签: 陀螺
MEMS作为21世纪的前沿高科技,在产业化道路上已经发展了20多年,今天,MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点,已经有了很大的市场,早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成的封装工艺,MEMS产品中,由于各类产品的使用范围和应用环境的差异,其封装也没有一个统一的形式[1],应根据具体的使用情况选择适当的封装,同时,在MEMS产品...
类别:PCB设计技巧 2013年09月21日 标签: MEMS 传感器 封装
论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟。Reduced-order...
类别:电路仿真 2013年09月19日 标签: MEMS器件缩减模型建模方法研究
微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电...
类别:电路仿真 2014年03月05日 标签: 静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计
MEMS System Design》完整英文版 PDF 作者:James Allen 内容: Chapter 1. Introduction Chapter 2. Fabrication Processes Chapter 3. MEMS Technologies Chapter 4. Scaling Issues for MEMS Chapter 5. Design...
类别:模拟及混合电路 2017年02月26日 标签: MEMS
《Foundations of MEMS(第一版)》英文版 作者:Chan Liu 简介:此书为MEMS经典教材,是MEMS初学者的必读教材。文中介绍了MEMS( Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)的发展史,介绍了微制造技术(microfabrication),并回顾了机电相关的基础知识,然后详细深入的介绍了MEMS系统中每一个细节电路的知识。...
类别:其他 2015年01月29日 标签: MEMS

MEMS相关帖子

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这什么原理 你要明白现在的屏幕都是电容屏,这种是靠电容差实现触摸检测的 可以到st mems区域找bluenrg实现hid触摸屏的帖子 这种方式属于硬件外挂 如果你是安卓手机也可以使用adb命令 用上位机控制 我实现过自动加微信群好友的功能 我们这有一个同学稿作品搞了一个跳一跳物理外挂,根据距离使用舵机触屏控制按屏的时间,跳一跳可以得好多分,楼主可以自己做一个 间歇性电击很简单,你买个小舵机...
87次浏览 2018-08-18 综合技术交流

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-5V的压力传感器/0-10V压力传感器AST4700AST4700是具有竞争力的价格,高品质的压力传感器,用於测量液体和气体的使用。利用KrystalBond™技术,AST4700提供的是一体成型的不钢传感元件焊缝,内部O形圈,和加油。这转化为坚固的结构,高循环寿命,广泛的介质兼容性,随着MEMS技术的好处。可以打包的AST4700具有多种过程连接,包括NPT,SAE(UNF...
0次浏览 2018-08-17 信息发布

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, SO_SNDBUF,(char *)&value, &valSize); printf("socket size: %d\n",value); 设置队列长度的方法为 struct ifreq ifr; memset(&ifr, 0, sizeof(ifr)); strncpy(ifr.ifr_name, "eth0"...
0次浏览 2018-08-14 【TI C2000】

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我想用6轴加3轴,我应该怎么配置?谢谢。用法如图 怎样在LSM6DSL再加一个三轴 可以多读读下边这个例程 STM32CubeExpansion_MEMS-XT1_V4.2.0\Projects\Multi\Examples\IKS01A2\LSM6DSL_SensorHub [attach]368452[/attach] [quote][size=2][url=forum.php...
67次浏览 2018-08-07 ST MEMS 传感器技术论坛

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STM32Cube最新的软件功能包FPS-SNS-ALLMEMS2,可将IoT节点通过BLE连接到智能手机,并使用相应的安卓或iOS应用程序,如BLUEMS,查看实时环境和运动传感器数据、数字麦克风和电池电量。 其功能类似于FPS-SNS-ALLMEMS1功能包,但可实现更低的功耗。 该软件包还可以实现其他高级功能,如语音通信、声源定位和基于多个麦克风输入的声学波束形成,以及基于传感器数据...
101次浏览 2018-08-03 ST MEMS 传感器技术论坛

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虽然消费电子应用激发了对这些传感器的需求,但其在其他市场的应用也在增加。随着数字化或物联网的出现,传感器正成为工业基础设施应用的核心。在这种情况下,应用依赖MEMS进行状态监控和结构健康监测。与这些新应用相伴而来的是关于性能和可靠性的非常具体的标准。   利用数字化创建智能基础设施可带来诸多好处,其中包括更高的容量、效率和可靠性。智能基础设施可为客户和用户提供更多且更有针对性的服务,而无...
0次浏览 2018-08-01 信息发布

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传感器驱动使用STMems_Standard_C_drivers BlueNRG-1的SDK_EVAL_I2C.c库使用的是7位设备地址,使用lsm6dsl_reg.h的LSM6DSL_I2C_ADD_x时需要或移一位转成7位地址 /******************** (C) COPYRIGHT 2015 STMicroelectronics...
101次浏览 2018-07-31 ST MEMS 传感器技术论坛

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APTMC120AM20CT1AG SiC电源开关的ADuM4135栅极驱动器的性能AN-1552:电动汽车警示音系统 技术文章 TECHNICALARTICLE RF转换器:一种支持宽带无线电的技术适用于智能基础设施的MEMS传感器OPC UA、TSN和传统工业以太网系统将在未来扮演什么角色?RF转换器为下一代无线基站提供高效多频段无线电 模拟对话 ANALOGDIALOGUE 高速放大器测试需要足够...
108次浏览 2018-07-30 模拟电子

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LSM6DSL翻腕亮屏检测代码,使用NUCLEO-L4R5ZI板子测试配置方法参考贴子http://bbs.eeworld.com.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=541212&highlight=lsm6dsm和数据手册的2.2 传感器驱动使用STMems_Standard_C_drivershttps://github.com...
211次浏览 2018-07-28 ST MEMS 传感器技术论坛

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传感器。表面声波微型传感器——物理类型表面声波(SAW)微型传感器使用表面声波技术和MEMS技术来转换各种非电信息,例如压力传感器、温度、流量、磁场强度、加速度、角速度等。用于改变振荡频率的装置表面波振荡器。微型传感器的应用和选择对每次购买都有很大帮助,可以用于我们的工作效率。微型传感器连接显示模块,显示时间为、按钮模块、报警模块、通讯模块、内存模块,显示模块设置在杯子表面,按键模块包括分钟调整...
0次浏览 2018-07-27 信息发布

MEMS视频

2010全球电子峰会:MEMS is HOT(上)
主持人Gartner公司调查总监Stephan Ohr(左1,以下按此顺序)说,非光学MEMS传感器(注:光学如TI的DLP)中,2010年市场容量会突破30亿美元,有望达到31亿美元;2009年为28亿美元。汽车应用仍然保持非光学传感器的第一位,占2009年总应用中的60%以上;但是数据处理和通信...
2014-01-01 标签: ADI MEMS
集成MEMS传感系统设计与应用
微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 集成传感器 朱荣
MEMS与微系统
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件,尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。 课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合;着重提取基础、重点和共性...
2017-11-28 标签: MEMS 清华 微系统 王喆垚
ADI公司MEMS陀螺仪的抗振性
本视频是ADI公司MEMS陀螺仪和同类陀螺仪产品的对比演示,比较两者对错误输出激励的响应。可以看出,我们的结果新款陀螺仪具有高抗振动、抗冲击性和抗线性加速度特性。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS 抗振性
用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件(上)
本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。...
2013-01-01 标签: 传感器 ADI 医疗电子 MEMS 医疗保健
用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件(下)
本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。...
2013-01-01 标签: 传感器 ADI 医疗电子 MEMS 医疗保健
利用MEMS惯性传感器实现头部冲击遥测系统
本演示视频介绍Simbex Corporation的足球场冲撞分析系统。每个头盔内置6个高g值加速度计、一个DSP和发射机。系统通过一台笔记本电脑以无线形式接收数据、完成数据分析,并显示冲击的幅度和方向。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS 遥测系统 头部冲击
为何不马上使用MEMS麦克风呢?
自从1960年代起,麦克风技术就未曾有大的进步……现在这一情况将彻底改变。本视频将介绍ADI MEMS麦克风技术的独特优势。ADMP441是一款高性能、低功耗、数字输出、全向MEMS麦克风。...
2013-01-01 标签: ADI MEMS麦克风 ADMP441
Description The X-NUCLEO-IDS01A4 is an evaluation board based on the SPIRIT1 RF module SPSGRF-868 expansion of STM32 Nucleo boards. The SPSGRF-868 mod...
2016-11-02 标签: MEMS 传感器 ST

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