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EUV设备

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没有EUV光刻机,大陆厂商在7nm之战中毫无胜算?
产品设计定案,第一代7nm将在2018年实现量产(一说为年前实现量产),第二代7nm则会在2019年实现量产,并导入极紫外光技术。不论是三星还是台积电在7nm上都将引入EUV设备,而这种被视为延续摩尔定律的设备的研发正是因为制程工艺进入10nm后难度骤增,193nm光刻技术不足以应付7nm、5nm的需要,所以寄希望于研发EUV光刻工艺来推动制程进步。7nm制程的进度在一定程度...
类别:综合资讯 2017-08-24 17:40:05 标签: 7nm EUV设备 半导体制造 ASML
三星电子(Samsung Electronics)决定引进极紫外光微影制程(EUV)设备,加速发展晶圆代工事业,意图加速超越台积电等竞争者。不仅如此,最近三星电子还开放为韩系中小型IC设计业者代工200mm(8吋)晶圆,积极扩展晶圆代工客户。    据韩媒ET News报导,三星集团(Samsung Group)从2016年初对三星电子系统LSI事业部...
类别:市场动态 2016-05-11 08:46:17 标签: 三星
,这明显是英特尔想要在7奈米制程技术中导入EUV设备,而假如以正常的报价计算,这笔订单的金额将高达15亿欧元;也就是说,英特尔已将一笔为数不小的资金投入了7奈米制程科技。 den Broek还说,ASML另外两家大客户分别是三星电子(Samsung Electronics Co.)与台积电(2330),他认为这两家业者也会跟进导入EUV。 barron`s.com报导...
类别:综合资讯 2015-04-23 20:53:09 标签: 台积 10nm Intel
      全球最大半导体微显影设备业者ASML表示,目前客户订单增加相当多,但主是来自半导体业者制程微缩而非产能扩充的需求,半导体业者仍持续微缩半导体制程,摩尔定律预料将持续延续。以目前ASML最先进的浸润式微显影机种来看,新一代的机种NXT 1950i 也已于2009年下半出货,未来将快速增加出货,同时深紫外光(EUV...
类别:工艺设备 2009-10-12 09:31:42 标签: ASML 38纳米 EUV设备

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