诺发系统有限公司推出VECTOR EXPRESS

2007-03-23 10:11:26来源: 电子工程世界

-PECVD薄膜工艺生产效率和技术领先者

2007年3月22日,中国上海—诺发系统有限公司(Nasdaq股票代码:NVLS)今天正式推出VECTOR Express新产品。VECTOR Express是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积(PECVD)平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40%,保持了业界领先的生产效率。此外,VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆,使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。

VECTOR Express之所以能够显著提高生产效率和改善薄膜工艺性能,其关键在于SmartSoak工艺新特点。SmartSoak采用了诺发VECTOR平台独特的多平台顺序处理(MSSP)结构,使晶圆加热和薄膜淀积过程相互独立开来。通过这种方法可以使晶圆温度在薄膜开始沉积时变得更加稳定和一致,同时还能够缩短薄膜沉积的时间。

客户评估结果显示,将具备SmartSoak技术的VECTOR Express系统用于500 TEOS薄膜沉积时,0.08um大小的微粒缺陷水平是所有类似产品中最低的。进行40侧壁氧化膜沉积时,薄膜厚度控制水平在1个原子层之上,表明该系统在晶圆内部以及晶圆与晶圆之间的薄膜厚度控制上具有非常出色的可重复性表现。

除了SmartSoak之外,VECTOR Express还采用了高精度和高速度的机械传送零部件和晶圆自动监测技术,使晶圆机械传送和处理时间缩短了20%以上。此外,VECTOR Express还采用了先进的材料传输新技术,进一步确保该系统能够被拓展到各种薄膜沉积工艺中。

诺发公司电介质事业部高级副总裁兼总经理Tim Archer介绍说:“VECTOR Express为全球领先的存储器和逻辑器件制造商提供了他们所需的最佳薄膜沉积能力。此外,我们为客户提供了非常简单的升级途径,以便提高现有VECTOR设备的生产效率。”

自从于2006年第3季度开始进行beta测试以来,诺发已经收到了20多份有关VECTOR Express系统的订单,其中包括好几个新客户。VECTOR Express将于2007年第2季度正式用于生产。

VECTOR简介

诺发于2000年推出VECTOR系统。VECTOR的推出彻底改变了300mm PECVD市场。这一业界领先的PECVD系统能够沉积先进的双嵌入式大马士革结构所需的各种电介质薄膜,是大批量生产的首选设备之一,也是装机量最大的300mm PECVD系统。该设备设计简单,能够确保系统具有最高的可靠性和正常工作时间。其占地面积只有竞争对手的三分之二,大大节约了工厂洁净室的地板空间。

诺发公司简介:

诺发系统有限公司(Nasdaq股票代码:NVLS)是全球领先的半导体工艺设备供应商。通过创新性新技术的开发和值得信赖的高生产效率的支持,该公司的产品能够为客户提供最大的应有价值。诺发是一家标准普尔500指数公司,总部位于加州圣何塞,分支机构跨越全球各个国家和地区。有关诺发公司的更多信息,请访问网站www.novellus.com

关键字:薄膜  晶圆  沉积  微粒

编辑: 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/newproducts/packing/200703/12830.html
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