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因光刻胶污染,台积电Fab14厂已停产!

2019-01-29
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事件背景:震惊!台积电再爆生产事故,上万片晶圆或报废


28日,台积电又被爆出一起安全事故,这次是晶圆被不合格原料污染,预估损失上万片晶圆,影响的是主力营收的16/12nm工艺,NVIDIA的GPU以及多家手机芯片厂商都在使用这一工艺。


该事件曝光一来,立即引起了行业关注。由于台积电在晶圆代工领域具有绝对的话语权,其生产情况对于全球芯片行业都有着至关重要的影响。而这也不是其首次事故,早在2018年8月台积电就爆发了令人震惊的“病毒事件”,以至于产线停产,并影响到最先进的7nm工艺。而此时再次爆出原料污染问题,不免也让人对其生产管理充满担忧。


在昨日爆出不合格原料污染事件之后,今天又有了新的进展。据深科技报道,实际上台积电南科 14 厂发生了两桩“受污案情”。


图片来源:台积电


28 日一开始传出的前段刻蚀(etch)铁离子污染,未通过台积电内部检验程序。不过,这个事件马上被解决,影响的晶圆数量仅几百片,仍不足为患,也不至于造成太大的影响。


但很快地,就在 28 日同一天,台积电 14 厂又爆发出第二桩“案情”。根据业界透露,是该厂使用的光刻胶受到污染,导致该厂房在线的晶圆出现部分报废,因为前段晶体管受到污染可能会导致晶圆不正常的漏电,进而影响产出的良率和可靠度。


针对此事件,台积电 14 厂员工已被告知停止休假,进行全厂区全面检验。 而台积电也回应称,因为使用了与原本规格有误差的化学原料,因此影响产出晶圆的良率,目前正在厘清该事件发生的原因,且正在跟客户沟通细节和后续处理。


与此同时,台积电也再次强调,预计受到影响的晶圆会在第一季回补完成,如果有第一季无法回补的部分,应该也能在第二季回补,但根据目前进度估计,不至于会影响第一季发布的财测。


业界透露,台积电使用的光刻胶供应商有日商信越、JSR等,以及美商陶氏电子(Dow Electronic Materials),这次 14 厂用的光刻胶原料,应该是属于非日商,台积电受到影响的产能可能高达上万片。


供应链分析,如果最后检测结果是这一批化学原料有问题,可以向供应商提出求偿,但如果是台积电内部采用了错误的设备参数所导致,那求偿问题会较复杂。


台积电南科 14 厂是 12/16nm 制程的生产重镇,主要客户有海思、联发科、Nvidia 等,虽然台积电目前的工艺技术已经进入 10nm、7nm 高端世代,但 12/16nm 一直需求热络,是台积电营运的中流砥柱,取代 28nm 成为台积电非常重要的技术世代。


行业内人士分析,台积电南科 14 厂 12/16nm 的产能利用率已降至 80% 左右,但相比 28nm 的产能利用率可能仅 60%,甚至更低,南科 14 厂已经算是台积电的营运支柱。



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