带您逛逛TI 12英寸模拟产品线

2011-07-03 23:50:13来源: EEWORLD 关键字:逛逛  英寸  模拟  产品线

    德州仪器上周邀请了国外媒体参观德州理查德森的RFAB,这是业界首个300mm(12寸)晶圆厂,也是业界首个经过LEED认证的工厂。(补充:LEED认证的定义 LEED美国建筑环保认证是美国绿色建筑委员会U.S Green Building Council建立并推行的“绿色建筑评估体系”,该体系遵循美国绿色建筑协会政策和方针,目前在世界各国的各类建筑环保评估、绿色建筑评估以及可持续性评估标准中,其被认为是最完善、最具影响力的评估标准。)

    RFAB于2004年奠基,2007年建成,经过了两年多闲置,直到2009年TI从奇梦达手中以1.725亿美元廉价收购了12寸晶圆生产线后RFAB才得以继续。

    根据TI全球技术及生产部全球制造副总裁Paul James Fego表示,如果没有收购奇梦达设备的话,RFAB将会是8英寸的生产线,而当我们考虑到模拟产品的种类和业务量后,我们认为可以保证300mm晶圆厂的开工率。

   

    近距离考察RFAB,目前该工厂已经部署了几十家公司的工艺设备,图片是Axcelis及Varian Semiconductor Equipment Associates 的离子注入机。

    2009年9月份,TI公布了其300mm生产线计划,几周内,奇梦达的设备便陆续抵达了理查德森,与TI理查德森总部只相距几英里,并且也和TI达拉斯工厂产生了集群效应。RFAB经理Tom Weichel透露,就连RFAB办公室的部分家具,也来自奇梦达工厂。

    RFAB在去年底开始试产,目前,25万平方英尺的洁净间每天大约生产350片晶圆,预计2011年底这个数字将达到600-700片。

   

    图中黑色轨道是RFAB的自动化运输系统,由日本村田机械自动化生产,可将晶圆自动运输至各地。

    除了奇梦达在弗吉尼亚的设备外,由于模拟工艺与数字有些许差异,TI也获得了一些德国累斯顿工厂的设备,同时也有一些其他来源的设备。

    TI 2009年宣布在RFAB雇用约250名员工,但Weichel拒绝透露目前FAB的员工数量。

    废气排放,生态循环以及室内环境等多方面的标准。为此,TI修建了循环水净化系统、雨水储存系统、以及隔离系统等,在RFAB的办公室中,同样包括无水小便池、室内日照系统、太阳能水加热以及感应灯等细节。

    Weichel承认,部分LEED的认证项目并不适合FAB,在谈及如何解决绿色工厂与有毒化学品之间的矛盾时,Weichel表示,“首先我们会把安全放在第一位,其次如果不得不使用一些危险品的话,那么我们会尽量重复利用,将污染降至最低。”

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编辑:冀凯 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/mndz/2011/0703/article_10445.html
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