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什么是EUV?为何如此昂贵

2018-09-30来源: 芯通社综合整理 关键字:EUV  光刻

为什么三星、台积电、英特尔,这三家直接竞争对手企业争相投资ASML?EUV堪称半导体设备发展以来最昂贵的设备,一台售价高达9,000 万欧元。中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机。看看如何修炼这台设备的。







关键字:EUV  光刻

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