中科院半导体所国内首台48片MOCVD样机取得突破

2012-03-29 11:01:48来源: 中国科学院

  在中国科学院和广东省共同支持下,由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。

  样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核,还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。所外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。多家第三方机构检测结果表明,用此48片MOCVD样机外延的氮化镓材料,其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。

  3月10日,在广东省与中科院在京举行的全面战略合作座谈会上,广东省省长朱小丹、中科院院长白春礼等就首台48片MOCVD样机研制成果向中共中央政治局委员、广东省委书记汪洋作了汇报。会议期间,还举行了MOCVD装备成果与用户的应用合作签约仪式。

48片MOCVD样机
48片MOCVD样机

关键字:MOCVD

编辑:冀凯 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/manufacture/2012/0329/article_7019.html
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