应用材料Vantage快速升温系统出货达500台

2010-12-13 11:32:53来源: Digitimes

    半导体设备大厂应用材料(AppliedMaterials)宣布,已为全球半导体厂出货第500套AppliedVantage快速升温制程(RTP)系统,用于制造先进的存储器和逻辑芯片。应材指出,Vantage系统耐用、轻巧的设计以及一流的回火效能,于2002年首次上市时即迅速获得客户肯定,该平台在两年内便跃居市场龙头,领导地位仍维持至今。

    根据Gartner调查指出,应材是RTP技术的龙头,2009年这种以灯泡为基础的RTP应用居市场领先优势。除VantageRTP系统,应材已为全球客户安装超过500套的CenturaRRTP系统,成为业界过去10年用以制造微型芯片的首选。

    应材副总裁暨前端产品事业处总经理桑德·瑞玛摩希(SundarRamamurthy)表示,Vantage系统展现应材在单晶圆高温制造技术的领导地位,满足客户对于效能、生产力和可靠度的要求。应材将继续为Vantage平台开发新的RTP解决方案,例如开创性的VantageAstra毫秒级回火技术,以解决晶体管尺寸缩小的关键挑战。」

    Vantage架构是将两个RadiancePlus、RadOx或Astra制程反应室,直接与应用材料生产的工厂界面相连,以最小的洁净室空间将生产力提高到最大。该系统独特的弹性,让客户在经过生产验证的相同平台上,执行所有以灯泡和雷射为基础的升温制程步骤,包括毫秒级回火(millisecondanneal)、瞬间回火(spikeanneal)和长温回火(soakanneal),以及多种氮化和氧化应用。整套系统以单机整合出货,装机时间可有效缩短于10天之内。

关键字:Vantage  应用材料

编辑:冀凯 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/manufacture/2010/1213/article_4798.html
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