中科信:冲破封锁 抢占IC装备业制高点

2009-09-09 10:04:00来源: 中国电子报

        夏日的早晨,微风拂面,鸟儿轻鸣。北京中科信电子装备有限公司(简称中科信)里一派繁忙景象,来来往往的员工或赶往厂房或直奔办公大楼,为“十一五”国家科技重大专项———90nm-65nm大角度离子注入机样机系统集成紧张而有序地忙碌着。

    冲破封锁

    “工欲善其事,必先利其器”,2000多年前孔子话语中蕴含的深意同样适用于当今中国的半导体业:没有先进的电子制造设备,就不可能有自主先进的芯片产品;没有先进的设备做支撑,中国的半导体业发展再快,也只是建立在沙漠上的高楼。
 
    作为IC制造前道工艺设备,离子注入机技术复杂、涉及面广,融光、机、电、计算机、材料、热学、力学等各种专业技术为一体。国际上,离子注入技术主要集中在美国,著名的离子注入装备生产商有美国Axcelis公司、Varian公司等。他们拥有最先进的离子注入机技术,研制的各种类型的离子注入机占据了大部分国际市场。

    以美国为首的西方发达国家始终把IC设备列为对我国实行严格限制的技术领域之一,实行严密封锁且禁止向我国出口先进的离子注入设备,不让先进的设备和技术为中国人所掌握,以永远维持自己的经济和军事霸权地位。

    中科信作为国内唯一从事离子注入机与快速退火成套装备的研发及产业化的高科技企业,责任重大。企业必须从战略发展的高度出发,立足于自主创新,整体提升以离子注入机为代表的电子专用装备制造业核心竞争力,建立起拥有自主知识产权的研发技术平台,充分掌握有关离子掺杂处理工艺和整机装备系统集成的先进技术,实现国产离子注入机设备的跨越式发展。

    “十五”期间,中科信承担了国家高技术研究发展计划(863计划)集成电路制造装备重大专项———“100nm大角度离子注入机”项目,在不到3年的时间里,他们成功建立了国内一流的离子注入机技术研发及产业化平台和技术服务体系,完全突破大角度离子注入机的5大系统、6大关键技术,有效建立了以专利为核心的知识产权体系,研制出具有自主知识产权的、能够满足100nm集成电路工艺要求的8英寸大角度离子注入机商品机,并实现出口。

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关键字:IC制造  90nm  65nm

编辑:金继舒 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/manufacture/2009/0909/article_1252.html
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