IBM集团推出28nm工艺技术 采用高k金属栅

2009-04-20 11:24:51来源: EE Times 关键字:IBM  高k金属栅  28nm  工艺技术

      尽管IC市场低迷,但硅代工市场正在回暖,IBM的“晶圆厂俱乐部(fab club)”近日正式推出基于高k金属栅28nm工艺。

      该28nm技术正在认证中,是由IBM合作平台的成员联合开发,包括IBM、特许、GlobalFoundries、英飞凌、三星和意法。

      据悉,倍受期待的28nm工艺可从现有的32nm工艺无缝转移。该集团的32nm技术在去年发布,基于面向低功耗等应用的“优先(gate-first)”高k和金属栅技术。

      该集团的32nm和28nm技术有相似之处,28nm是32nm的微缩版。率先出炉的均为低功耗技术,支持7-9层金属、30nm栅长、铜互连、超低k介质。光刻技术采用193nm沉浸技术。

关键字:IBM  高k金属栅  28nm  工艺技术

编辑:王程光 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/manufacture/2009/0420/article_374.html
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