苏州敏芯推出MEMS压力传感器芯片

2009-11-16 14:35:17来源: 中电网

    继推出硅基MEMS麦克风芯片后,苏州敏芯微电子技术有限公司(MEMSensingMicrosystemsCo.,Ltd.)日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片,主要针对量程为15PSI的高度表市场,并已开始提供样品。

    据敏芯微电子介绍,其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa,在加载电压5V的情况下,满量程灵敏度为100mV,桥臂电阻典型值为5k欧姆,零位输出在+-30mV之间,灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称,其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片,可同时兼容开环和闭环桥臂两种应用,极大方便了客户使用。

    目前,敏芯微电子可以芯片或晶圆的形式向客户供货,初期将供应基于4寸晶圆的芯片,外形尺寸为1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今后,为满足部分客户对芯片超薄尺寸的要求,也将提供芯片外形尺寸为1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。

    敏芯微电子还将陆续推出其它量程的产品来满足不同客户之需求,预计将于2010年初提供满量程范围为100PSI及300PSI之产品,此系列之产品将进一步缩小芯片体积,设计外形尺寸为1.1mm*1.1mm*0.7mm。同时,公司也可根据客户需求来定制MEMS压力传感器芯片,来满足某些特种需求。

关键字:MEMS压力传感器  芯片  量程  灵敏度

编辑:金海 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/gykz/2009/1116/article_2326.html
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