产综研复合氮化物压电薄膜用于振动传感器

　　日本产业技术综合研究所与电装共同研究，试制成功了耐热性优异、压电性高的复合氮化物薄膜。要进一步提高汽车发动机和燃气涡轮发动机等的燃烧技术、减小石油消耗量，需要耐热性优异的燃烧压力传感器。要保证火力发电站和化学工厂等陈旧设施的安全，也需要耐热性和耐久性优异的振动传感器。

　　一般来说，物质的压电性随耐热性的提高（居里温度变高）而降低。因此，制作耐热性高且具有高压电性的压电体比较困难。目前尚未开发出耐热性优异且具有良好性能的燃烧压力传感器和振动传感器。

　　因此，产综研生产检测技术研究中心工艺检测组和电装基础研究所的研究小组，未着眼于普通的复合氧化物压电体，而是对此前几乎未触及的复合氮化物压电体进行了研究，发现将钪（Sc）固溶在氮化铝（AlN）中的复合氮化物薄膜具有AlN 5倍以上的压电性（压电常数为d33：25pC/N），在氮化物中最高。

　　因试制的复合氮化物即使加热到500℃，其结晶结构仍未变，因此有望用于高温下使用的压电体。由于不含铅等，可利用现有的半导体制造工艺，且非常适合量产，因此有望用作新传感器薄膜。