小电流测量SMU至DUT的连接

2016-08-19 11:14:36来源: eefocus
连接DUT时,除了使用屏蔽和保护电缆,将吉时利4200-SCS的相应端子与装置的合适端子相连接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子连接不合适会导致电流偏移和测量不稳定。这些误差是由于共模电流产生的。
通常情况下,总是将SMU的高阻端子(Force HI)连接至被测电路的最大电阻点。同样,总是将4200-SCS的低阻端子(Force LO)连接至被测电路的最小电阻点。最小电阻点可以是公共端子或接地。如果Force HI端子被连接至最小电阻点,共模电流就会通过测量电路。
图14中标出了正确和不正确的测量连接。图14a中的连接是正确的,因为吉时利4200-SMU的Force HI端子被连接至晶圆上器件的极,而Force LO端子被连接至带有保护的吸盘。晶圆上的栅极端子为最大阻抗点,保护吸盘为低阻抗点,所以该电路的连接正确。请注意,共模电流从SMUde Force LO端子流至保护吸盘;然而,电流并不通过安培计,因此不会影响测量。
 

图14. 将SMU连接至保护吸盘上的器件
图14b中的连接是不正确的,它将SMU的Force LO端子连接至高阻栅极,将SMU的Force HI端子连接至保护吸盘。在这种情况下,共模电流将通过SMU以及DUT。这会造成测量不准确,甚至不稳定。

关键字:小电流测量  SMU  DUT

编辑:什么鱼 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/Test_and_measurement/article_2016081916818.html
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