氦气检漏仪的工作原理

2016-01-18 11:11:05来源: eefocus 关键字:氦气检漏仪  工作原理
氦气检漏仪工作原理

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.   
    
离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.       

分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;

在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上.       

收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.       

冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.

关键字:氦气检漏仪  工作原理

编辑:什么鱼 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/Test_and_measurement/article_14417.html
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