微小电容测量方法介绍

2015-08-17 09:59:21   来源:eefocus   

关键字: 微小电容  测量方法

1 充/放电电容测量电路


    充/放电电容测量电路基本原理如图1所示。

充/放电电容检测电路 

    由CMOS开关S1,将未知电容Cx充电至Ve,再由第二个CMOS开关S2放电至电荷检测器。在一个信号充/放电周期内从Cx传输到检波器的电荷量Q=Ve·Cx,在时钟脉冲控制下,充/放电过程以频率f=1/T重复进行,因而平均电流Im=Ve·Cx·f,该电流被转换成电压并被平滑,最后给出一个直流输出电压 Vo=Rf·Im=Rf·Ve·Cx·f(Rf为检波器的反馈电阻) 。

    充/放电电容测量电路典型的例子为差动式直流充放电C/V转换电路,如图2所示。

\ 

    Cs1和Cs2分别为源极板和检测极板与地间的等效杂散电容(通过分析可知,它们不影响电容Cx的测量)。S1-S4是CMOS开关,S1和S3同步,S2和S3同步,它们的通断受频率f的时钟信号控制,每个工作周期由充/放电组成。分析可得电路输出为

Vo=2KRfVeCxf            (1)

式中,K为差分放大器D3的放大倍数。

    该电路的主要优点是能有效地抑制杂散电容,而且电路结构简单,成本很低,经过软件补偿后电路稳定性较高,获取数据速度快。缺点是电路采用的是直流放大,存在较大的漂移;另外,充/放电是由CMOS开关控制,所以存在电荷注入问题。目前该电路已成功应用于6、8、12电极的ECT系统中。其典型分辩率可达3*10-15F。


2 AC电桥电容测量电路

    AC电桥电容测量电路如图3所示,其原理是将被测电容在一个桥臂,可调的参考阻抗放在相邻的一个桥臂,二桥臂分别接到频率相同/幅值相同的信号源上,调节参考阻抗使桥路平衡,则被测桥臂中的阻抗与参与阻抗共轭相等。这种电路的主要优点是:精度高,适合作精密电容测量,可以做到高信噪比。

AC电桥电容测量电路  

    图3电路的缺点是无自动平衡措施,为此可采用图4所示的自动平衡AC电桥电容测量电路。

\ 

    该系统输出Vd为一直流信号,ΔC为传感器的电容变化量。

\ 

式中,2/π为相敏因子。

    结合平衡条件,在理论上输出Vd可写成

\ 

    获得该电桥的自动平衡过程的步骤为:保证电桥未加载时ΔC=0,测量电桥非平衡值并利用公式(3)计算出电桥输出为零时所需的反馈信号Ve的值。重新测量桥路的输出,若输出为零,则桥路平衡;若输出不为零,重复上述测量步骤,直至桥路输出为零,即桥路平衡为止。该电桥电容测量电路原理上没有考虑消除杂散电容影响的问题,为此采取屏蔽电缆等复杂措施,而且其效果也不一定理想。通过实验测得其线性误差能达到±1*10-13F。


3 交流锁相放大电容测量电路

    交流型的C/V转换电路基本原理如图5所示。

交流电容测量电路    

     正弦信号Ui(t)对被测电容进行激励,激励电流流经由反馈电阻Rf、反馈电容Cf,和运放组成的检测器D转换成交流电压 Uo(t):

\ 

若jωRfCf>>1,则(4)式为

\ 

    式(5)表明,输出电压值正比于被测电容值。为了能直接反映被测电容的变化量,目前常用的是带负反馈回路的C/V转换电路。这种电路的特点是抗杂散性、分辨率可高达0.4*10-15F。

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编辑:什么鱼
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