华虹半导体与丽恒光微联手推出全球最小气压计

2015-03-16 11:53:59来源: 21ic 关键字:华虹半导体  丽恒光微  气压计  PS3606  传感器
全球领先的200mm纯晶圆代工厂──华虹半导体有限公司与丽恒光微电子科技有限公司近日共同宣布,联合推出全球最小气压计PS3606,其采用华虹半导体创新的MEMS制造技术和丽恒光微的单芯片集成传感器方案设计,整个传感器产品尺寸1.1毫米x0.9毫米,厚度仅为0.45毫米。该产品也是全球第一款采用晶圆级封装的单芯片集成气压计。

 

丽恒光微基于华虹半导体200mm CMOS-MEMS工艺平台研发生产的PS3606,采用业界最先进的晶圆级封装技术,封装尺寸全球最小,并且凭借晶圆级封装技术优势,极大程度上降低了产品的封装成本和测试成本。同时,该款高性能气压计采用了丽恒光微独创的CMOS-MEMS单芯片集成方案,具有测量精确度高、系统稳定性好、抗干扰能力强等众多优点。产品完全拥有自主知识产权,成为自主可控国产传感器的杰出代表。

 

PS3606主要参数:

  • 气压量程:30~110kPa;
  • 封装形式:晶圆级封装8-pin,封装尺寸1.1x0.9x0.45mm3;
  • 绝对精度:+/- 0.1kPa(95~105kPa,0~40℃);
  • 最小分辨率:1Pa(95~105kPa,25℃);
  • 温度传感器精度:+/- 0.1℃。

 

PS3606于今年四月份开始样本出货并进行客户推广,预计今年下半年投入量产,该芯片将广泛应用于智能手机、无人机、空气净化器、智能可穿戴设备等电子产品市场。

 

华虹半导体执行副总裁傅城博士表示:“MEMS传感器正日益渗入到车联网智能家居、智能城市乃至整个物联网应用中,而中国已成为全球增长最快的MEMS市场。目前华虹半导体正积极布局智能传感器,并将MEMS列为公司新的发展战略规划之一。该款产品的推出,标志着华虹半导体在发展MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线全兼容的方向上又迈进了一步,公司的MEMS工艺技术在尺寸和性能上达到全新的高度。这将对消费电子可穿戴电子设备和物联网市场的应用发展起到推动性作用。”

 

丽恒光微总经理毛剑宏表示:“丽恒光微在MEMS领域深耕多年,拥有独创的CMOS-MEMS单芯片集成传感器技术——CeMEMS(授权技术商标),并且掌握完备的核心自主知识产权,包括已授权和获准申请专利超过160件,具有全球可持续性技术竞争优势。丽恒光微结合自身发展特点和市场需求,充分利用上下游产业优势,成功串联起从MEMS传感器设计到芯片制造以及封装测试等一条完整的MEMS传感器产品供应链。气压计PS3606是丽恒光微推出的第三款气压计系列产品,未来将推出更多新产品,满足市场多元化需求。”

关键字:华虹半导体  丽恒光微  气压计  PS3606  传感器

编辑:什么鱼 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/Test_and_measurement/2015/0316/article_11035.html
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