真空计的检漏及区分

2012-11-12 14:19:08来源: 21ic
真空计(Vacuum Gauge),又称规,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。

1、用电离计检漏时,示漏物质应选用电离效果与残余气体有可能大差异者,电离效果包括电离率及电离电位两者的综合结果,一般用氢,氦,二氧化碳等。

2、用热真空计检漏时,示漏物质可用氢,二氧化碳,丙酮。乙醚。酒精等。一般说来,用气体喷吹用液体覆盖为好,因为液体往往会堵塞漏孔,还会污染真空系统或器件,热真空计因为惯性大,反应慢,检漏时巡喷速度不宜过快,并仔细观察,认真判别是系统的压强波动,仪器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物质离开后,仪器指示恢复原状的,才是真正的漏孔。热真空计检漏,要在它的测量范围的真空度下,才能有效,即只适用于10-1——10-3托的真空度范围。它哪呢过检出最小漏孔为1*10-5托升/秒。

电离计的反应热真空计快,但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的最小可检漏孔约为1*10-6——1*10-7托升/秒。

在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用,另一方面还会引起不必要的读数波动,因为混进的空气分量时大时小。

关键字:真空计  真空度  电离效果

编辑:什么鱼 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/Test_and_measurement/2012/1112/article_6313.html
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