日本精工推高温下可高精度检测角度传感器

2008-12-04 10:36:15来源: 技术在线 关键字:日本

  日本精工开发出了在100℃的环境条件下亦可以±10秒的绝对精度检测的角度传感器系统。主要用于搬运设备、液晶制造设备、太阳能电池制造设备、半导体制造设备及汽车制造设备等的角度检测。

 

图:角度传感器系统。在100℃高温下亦可以±10秒的绝对精度检测

  在开发并采用新的高精度补偿(误差补偿)算法的同时,还应用该公司生产的DD(直接驱动)马达“Megatorque Motor”上采用的“多极旋转变压器技术”,实现了与光学方式相同的高绝对精度。多极旋转变压器方式的特点是不易受振动、温度及油雾等的影响。通过这些措施,即使在高温条件下,也可获得高精度。

  尽管是角度传感器,但通过采用4点接触的球轴承使其能够承受直接负荷,因此比原来更坚固、更易操作。另外,通过在轴承内侧配备小型旋转变压器,使高度较原来缩小了一半,只有35mm。旋转速度为600rpm,绝对角度的最小分辨率为0.5秒(262万等分)。

  另外,该公司预定在2008年12月3~5日举办的“SEMICON JAPAN 2008”(幕张Messe会展中心)”上展出此开发品。

文章出处:技术在线

关键字:日本

编辑:潘争 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/Test_and_measurement/2008/1204/article_385.html
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