传感器的基本物理效应

2011-08-14 15:46:43来源: 互联网
传感器包括微传感器可以实现的种类很多,从原理上讲都以物理、化学及生物的各种规律或效应为基础。因此了解传感器所基于的各种效应,对学习、研究和使用各种传感器(特别是物性型传感器)是非常必要的。表1列出了部分物性型传感器的检测对象及所基于的物理效应,如果读者想了解更广泛和深入的内容,请参考其他文献。

表1 一些物性型传感器的基础效应

检测
对象
类型
所利用的效应
输出
信号
传感器或敏感元件举例
主要材料
量子型
光电导效应
电阻
光敏电阻

可见光:CdS, CdSe

红外:PbS, InSb
光生伏特效应
电流
光敏二极管、光敏三极管、光电池
Si, Ge, InSb(红外)
电压
肖特基光敏二极管
Pt-Si
光电子发射效应
电流
光电管、光电倍增管
Ag-O-Cs, Cs-Sb
约瑟夫逊效应
电压
红外传感器
超导体
热型
热释电效应
电荷
红外传感器、红外摄像管
BaTiO3
电阻式
电阻应变效应
电阻
金属应变片、半导体应变片
康铜,卡码合金,Si
压阻效应
硅杯式扩散型压力传感器
Si, Ge, GaP, InSb
压电式
压电效应
电压
压电元件
石英,压电陶瓷,PVDF
正、逆压电效应
频率
声表面波传感器
石英,ZnO+Si
压磁式
压磁效应
感抗
压磁元件;力、扭矩、转矩传感器
硅钢片,铁氧体,坡莫合金
磁电式
霍尔效应
电压
霍尔元件;力、压力、位移传感器
Si, Ge, GaAs, InAs
光电式
光电效应
电流
各种光电元件;位移、振动、转速传感器
CdS, InSb, Se-化合物
光弹性效应
折射率
压力、振动传感器
各种透光弹性材料
热电式
赛贝克效应
电压
温差电偶
Pt-PtRh10,NiCr-NiCu,Fe-NiCu
约瑟夫逊效应
噪声
电压
绝对温度计
超导体
热电效应
电荷
驻极体温敏元件
PbTiO3, PVF2, LiTaO3
压电式
正、逆压电效应
频率
声表面波温度传感器
石英
热 型
热磁效应
电场

Nernst 红外探测器

热敏铁氧体,磁钢
磁电式
霍尔效应
电压
霍尔元件
Si,Ge,GaAS,InAs
霍尔IC、MOS霍尔IC
Si
磁阻效应
电阻
磁阻元件
Ni-Co合金,InSb,InAs
电流
二极管、磁敏晶体管
Ge
约瑟夫逊效应
电流
超导量子干涉器件(SQUID)
Pb,Sn,Nb,Nb-Ti
光电式
磁光法拉第效应
偏振光
面偏转
光纤传感器
YIG, EuO, MnBi
磁光克尔效应
MnBi
线
光电式
放射线效应
光强
光纤射线传感器
Ti-石英
量子型

P- N

光生伏特效应
电脉冲
射线敏二极管
二极管
Si, Ge
Li-Ge, Si, HgI2
肖特基效应
电流
肖特基二极管
Au-Si

关键字:传感器  物理效应

编辑:神话 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2011/0814/article_1155.html
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