MEMS加工-MEMS制造技术

2011-08-14 15:44:07来源: 互联网 关键字:MEMS  制造技术
微机械加工是MEMS以及微光机电系统的关键技术。微机械加工可分为体微机械加工和表面微机械加工两种类型。体微加工技术是指利用蚀刻工艺对块状硅进行准三维机构的微加工,分为蚀刻和停止蚀刻两项关键技术。表面加工技术不蚀刻掉大部分的硅材料,而是在硅片采用不同的蚀刻和薄膜淀积方法,在硅表面上形成较薄的结构。蚀刻技术的主要代表为牺牲层技术(表面微机械加工以硅片微基体,通过多层膜淀积和图形加工制备三维微机械结构。硅片本身不被加工,器件的结构部分由淀积的薄膜层加工而成,结构与基体之间的空隙应用牺牲层技术)。主要薄膜淀积技术有蒸镀、溅射、化学气相淀积等,主要蚀刻方法是选择性湿法蚀刻和干法等离子蚀刻。

    全球共有250家MEMS器件生产企业,产品主要用于满足自身终端消费电子产品的需要。MEMS应用领域非常广泛,单个细分市场规模很窄,一家公司以几亿美元规模就能占据1至2个产品龙头地位。例如,德州仪器占据DLP市场,惠普占据打印机喷墨头市场,安华高科技占据滤波器市场,ADI、ST、飞思卡尔和美新占据加速度计市场,楼氏占据麦克风市场。为了降低成本、垄断市场,国际大公司都加大了8英寸MEMS生产线的建设。意法半导体2006年将MEMS生产线升级到8英寸,欧姆龙、飞思卡尔也开始筹建8英寸生产线。

    国内MEMS加工产业还处于导入期,北京青鸟元芯无锡美新半导体占据领先地位。青鸟元芯依托北京大学微电子研究院,成为国内第一家批量生产MEMS微型传感器的高新技术企业,月产MEMS传感器达10万只。无锡美新半导体是全球第一家使用标准CMOS工艺、单芯片上集成混合信号处理的热对流MEMS惯性传感器公司;设计生产能力为1500万片/月,加速计产品500万片/月,在无锡第二家CMOS-MEMS工厂已经投产,每月可生产1000万个加速计。但不可否认,国内MEMS制造商的平均生产能力较弱,多数仍采用4到 5英寸的中低端生产线。青鸟元芯就是利用早期从福特公司买来一条二手生产线制造MEMS传感器。

    无锡近邻苏州有昆山传感器产业基地。该基地作为我国唯一生产传感器的国家级产业基地,形成了以自主知识产权的硅压阻式MEMS传感器和变送器为核心的产业链,拥有总投资18亿元的30家传感器生产企业。国内MEMS压力传感器的龙头企业—双桥测控传感器有限公司敏芯(苏州)微电子企业都名列其中。

关键字:MEMS  制造技术

编辑:神话 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2011/0814/article_1153.html
本网站转载的所有的文章、图片、音频视频文件等资料的版权归版权所有人所有,本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如果本网所选内容的文章作者及编辑认为其作品不宜公开自由传播,或不应无偿使用,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。

上一篇:MEMS封装技术及相关公司
下一篇:硅-硅直接键合工艺

论坛活动 E手掌握
关注eeworld公众号
快捷获取更多信息
芯片资讯 锐利解读
微信扫一扫加关注
芯片资讯 锐利解读
推荐阅读
全部
MEMS
制造技术

小广播

独家专题更多

TI车载信息娱乐系统的音视频解决方案
TI车载信息娱乐系统的音视频解决方案
汇总了TI汽车信息娱乐系统方案、优质音频解决方案、汽车娱乐系统和仪表盘参考设计相关的文档、视频等资源
迎接创新的黄金时代 无创想,不奇迹
迎接创新的黄金时代 无创想,不奇迹
​TE工程师帮助将不可能变成可能,通过技术突破,使世界更加清洁、安全和美好。
TTI携TE传感器样片与你相见,一起传感未来
TTI携TE传感器样片与你相见,一起传感未来
TTI携TE传感器样片与你相见,一起传感未来
电子工程世界版权所有 京ICP证060456号 京ICP备10001474号 电信业务审批[2006]字第258号函 京公海网安备110108001534 Copyright © 2005-2017 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved