扩散硅压力传感器

2011-03-01 22:16:47来源: 互联网
扩散压力传感器的工作原理是:被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

关键字:扩散  压力  压力传感器  传感器

编辑:神话 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2011/0301/article_642.html
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