蓝宝石压力传感器

2011-03-01 22:15:31来源: 互联网
蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特征。

蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度更高、不怕形变;而且蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘性,因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使高温条件下,也有着很好的工作特性;蓝宝石的抗辐射特性极强;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件无p-n飘移,因此,从根本上简化了制造工艺,提高了重复性,确保了高成品率。

用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器,可在最恶劣的工作条件下正常工作,并且可靠性高,精度好,温度误差极小,性价比高。

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编辑:神话 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2011/0301/article_641.html
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