GLOBALFOUNDIES与SVTC合作 加速MEMS量产

2010-10-15 15:50:30来源: CTimes

    GLOBALFOUNDRIES近日宣布,将与SVTC技术公司结成战略联盟,以加速进行微机电系统(MEMS)的量产制造。

    微机电系统(MEMS)是半导体市场成长最快的区块之一,MEMS应用广泛,从车用感应器、到喷墨打印机、到高阶智能型手机与游戏控制器都有MEMS的应用。然而,MEMS的制造过去主要局限于特定的晶圆制造厂,采用「单一制程、单一产品」的模式。为了让MEMS市场得以持续快速成长,GLOBALFOUNDRIES正采取积极策略,透过与CMOS流程类似的标准化模式,将MEMS从特定制造平台转移到量产平台。

    200mm晶圆事业部进阶副总裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡总经理Raj Kumar表示,该公司目前已有计划要增加基础建设与专业技术来支援在3E晶圆厂提供专属的MEMS生产线,目标是在2011年第三季前开始MEMS装置的量产。新兴硅晶圆科技商用服务供应商SVTC,将提供全面的开发设施,协助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先进CMOS与MEMS设备,为顾客开发硅晶圆解决方案。SVTC也将为GLOBALFOUNDRIES工程师提供MEMS技术研发支援及培养训练。

    GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研发将先着重于三种应用︰加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。加速计在手机与消费电子产品上提供进阶用户体验;陀螺仪提供个人导航的影像稳定与方向侦测能力;无线电射频微机电系统则支援手机的多频段操作,同时缩小手机体积并减少电力消耗。

关键字:MEMS  SVTC  GLOBALFOUNDIES

编辑:冀凯 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2010/1015/article_479.html
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