SensorDynamics进军单元件MEMS陀螺仪市场

2010-04-21 17:01:12来源: EEWORLD 关键字:SensorDynamics  MEMS  陀螺仪


      奥地利格拉茨--(美国商业资讯)--微型和无线半导体产品制造商和供应商SensorDynamics今天宣布推出双轴和三轴陀螺仪。获得专利的传感器元件采用公认的PSM-X2微机电系统(MEMS)工艺制造。自2010年1月起,该工艺可用于8英寸晶圆。这些陀螺仪可作为独立元件使用,也可以与三轴加速计进行整合,在价格、可靠性和微型化方面都开创了广阔的前景。

      SensorDynamics将于2010年5月开始供应双轴和三轴MEMS陀螺仪,作为独立产品用于工业、自动化工程、医学、导航以及高端消费领域的应用。现已计划开发一种经AEC-Q100认证的汽车用陀螺仪,运行温度范围为-40°C至+125°C。

      新型三轴陀螺仪采用SensorDynamics获得专利的双腔技术制造,接下来即将与三轴加速计进行整合,在数平方毫米的芯片上创造一种六自由度的全面惯性测量装置(6DoF IMU)。面向消费领域的适当产品预计将于未来三个月内面市。

      这些多轴陀螺仪已经为批量生产做好了准备,其特征与SD75x、SD70x和SD77x/78x系列单轴产品的特征相同,不过相比之下,更高密度的整合意味着重要的成本优势

关键字:SensorDynamics  MEMS  陀螺仪

编辑:于丽娜 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2010/0421/article_415.html
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