最近六、七年以来,国内对MEMS惯性传感器的研发热度很高,尤其是2005年~2008年,而且大多集中在国内的顶尖研究机构。据初步了解,研发加速度传感器的机构有:哈尔滨工业大学、浙江大学、东南大学、西安交通大学、中北大学、哈尔滨电子49所、石家庄电子13所、航天704所、重庆电子26所、重庆电子24所、西安航空618所、西安航天771所、中科院上海微系统所、绵阳中国工物院。研发陀螺及组合的机构有清华大学、北京大学、西北工业大学、东南大学、南京理工大学、北京信息工程大学、长沙国防科技大学、上海交通大学、重庆电子26所、航天704所。
| 加速度传感器 | 陀螺、IMU、AHRS、VG | |
| 消费级 | ADI、Invensense、ST、Freescale、Sensor Dynamics、MSI(ICSensor)、MEMSIC、VTI、Infline。 | ADI、Knoix、ST、Infine、Methes、Murata、National上海深迪。 |
| 工业级 汽车级 | ADI、Silicon design、Honeywell、MSI、VTI、Colibry、北陆电气、中星测控。 | BEI、Microstrain、Crossbow、Sensonor、SSS、Bosch、Delphi、 Honeywell、ADI。 |
| 军工级 宇航级 | Honeywell、Silicon design、Drapor、Colibry、电子26所、航天704所、九院。 | BEI、Drapor、Honeywell、Xsens、Sorsonor、SSS、中星测控、电子26所、航天704所。 |
| 国内研发机构 | 哈尔滨工业大学、浙江大学、东南大学、西安交通大学、中北大学、哈尔滨电子49所、石家庄电子13所、航天704所、重庆电子26所、重庆电子24所、西安航空618所、西安航天771所、中科院上海微系统所、绵阳中国工物院。 | 清华大学、北京大学、西北工业大学、东南大学、南京理工大学、北京信息工程大学、长沙国防科技大学、上海交通大学、重庆电子26所、航天704所。 |