信越化学开发出用于MEMS模具的硅橡胶

2008-09-01 14:08:41来源: 半导体国际

      据日经BP社报道,日本信越化学工业开发出了用于微接触印刷模版和MEMS模具的PDMS(聚二甲基硅氧烷)硅橡胶。在MEMS制造中,将用作形成μ-TAS流路和微细树脂结构的模具。   

      微接触印刷是亚微米级微细图案的大面积印刷技术,是实现利用印刷技术制造电子元件的“可印刷电子(Printable Electronics)”的技术之一。通过把利用光刻制成的硅或石英制原版的图案转印到PDMS等硅橡胶上,制成印刷模版使用。只需将硅橡胶上图案凸起部位的油墨印刷到薄膜上,即可形成纳米图案。   

      此次的硅橡胶是受新能源产业技术开发机构(NEDO)的委托,作为“超柔软显示屏构件技术开发”项目的一环,由化学技术战略机构与产业技术综合研究所合作开发的。该产品不仅可以忠实地再现及转印原版图案,作为印刷材料也具有良好的适用性。另外,通过将杂质控制到最小限度,还实现了防带电功能。

关键字:模具

编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0901/article_210.html
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