新MEMS喷墨单芯片-明基开发成功

2008-05-19 16:41:27来源: 半导体国际

  明基电通(BenQ)日前发表新一代应用微机电(MEMS)整合之喷墨单芯片产品,这是该公司自2005年起执行工业局前瞻应用主导性新产品计划的研究成果,随着新一代产品的开发完成,明基希望能藉此开拓更多打印机ODM代工的商业机会。

  明基电通公司前瞻技术中心微流技术研发部副理曾繁中表示,明基最早是从2000年起便开始研发第一代的喷墨单芯片,到2003年完成第一张六色彩色打印,并于2004年开始量产墨盒组及喷墨打印机。

  他指出,第一代产品设计是采取背喷式架构,已应用于该公司包括CM3500/3700等型号的多功能事务机。但由于此架构是在2000年就已定好,规格已经有点老旧,为了进一步提升性能与成本竞争力,便于2005年7月通过经济部工业局的前瞻应用主导性新产品计划申请,开始进行第二代芯片的研发,希望能提供更精微的墨滴输出以及高频率操作频率。

  曾繁中表示,不管是第一代还是第二代的产品,该公司一开始研发喷墨头芯片时,就采取整合MEMS与MOS驱动电路技术的单石化喷墨单芯片架构,这与目前市场上有些厂商是采取MEMS、CMOS分别制造,再组装在一起的方式有所不同。

  就第一代与第二代的规格比较,曾繁中说,以墨滴体积来看,从5.5pl缩减到4pl、操作频率则从18KHz提升到24KHz。此外,由于将四色喷嘴全部设计在单一芯片上,因此喷嘴数从432个大幅增加到960个,整个throughput从每秒780万个墨滴增加到2300万个,整体效能获得很大的提升。

  曾繁中指出,第二代架构改良了之前的背喷式设计,改采先在表面上涂覆牺牲层,再以干蚀刻制程技术将墨水腔挖出来。

  此一为期21个月的计划工业局共补助了2000万元的经费,但明基所投入的资金为5800万元。除了产品的开发完成,希望能带来新的商业机会外,在研究成果方面,明基共发表了国内外8篇论文,以及申请了22个国内专利。

  曾繁中指出,目前明基并不计划以此喷头进行自有品牌的打印机产品开发,而是先以ODM代工业务为主。他表示,从2002年起,该公司的第一代喷头就已经为品牌业者代工了约15个机种,出货量已达到1000万台。新的喷墨头开发完成后,目前已经开始与日系业者进行代工业务的洽谈。

  谈到国内的微机电产业,曾繁中也表示,其实国内的MEMS产业的规模与能力都相对弱势。目前其喷墨头芯片是委由亚太优势(APM)制造,他也期望能够透过这样的分工与合作模式,共同提升国内微机电产业的竞争力。

  针对近来MEMS应用在消费性市场的趋势,曾繁中也指出,目前明基的微流技术研发部门大约有20人,除了喷墨头的技术开发之外,也将开始着手研究有关MEMS加速度计的开发。

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编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0519/article_171.html
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