新MEMS喷墨单芯片-明基开发成功

　　明基电通(BenQ)日前发表新一代应用微机电(MEMS)整合之喷墨单芯片产品，这是该公司自2005年起执行工业局前瞻应用主导性新产品计划的研究成果，随着新一代产品的开发完成，明基希望能藉此开拓更多打印机ODM代工的商业机会。

　　明基电通公司前瞻技术中心微流技术研发部副理曾繁中表示，明基最早是从2000年起便开始研发第一代的喷墨单芯片，到2003年完成第一张六色彩色打印，并于2004年开始量产墨盒组及喷墨打印机。

　　他指出，第一代产品设计是采取背喷式架构，已应用于该公司包括CM3500/3700等型号的多功能事务机。但由于此架构是在2000年就已定好，规格已经有点老旧，为了进一步提升性能与成本竞争力，便于2005年7月通过经济部工业局的前瞻应用主导性新产品计划申请，开始进行第二代芯片的研发，希望能提供更精微的墨滴输出以及高频率操作频率。

　　曾繁中表示，不管是第一代还是第二代的产品，该公司一开始研发喷墨头芯片时，就采取整合MEMS与MOS驱动电路技术的单石化喷墨单芯片架构，这与目前市场上有些厂商是采取MEMS、CMOS分别制造，再组装在一起的方式有所不同。

　　就第一代与第二代的规格比较，曾繁中说，以墨滴体积来看，从5.5pl缩减到4pl、操作频率则从18KHz提升到24KHz。此外，由于将四色喷嘴全部设计在单一芯片上，因此喷嘴数从432个大幅增加到960个，整个throughput从每秒780万个墨滴增加到2300万个，整体效能获得很大的提升。

　　曾繁中指出，第二代架构改良了之前的背喷式设计，改采先在表面上涂覆牺牲层，再以干蚀刻制程技术将墨水腔挖出来。

　　此一为期21个月的计划工业局共补助了2000万元的经费，但明基所投入的资金为5800万元。除了产品的开发完成，希望能带来新的商业机会外，在研究成果方面，明基共发表了国内外8篇论文，以及申请了22个国内专利。

　　曾繁中指出，目前明基并不计划以此喷头进行自有品牌的打印机产品开发，而是先以ODM代工业务为主。他表示，从2002年起，该公司的第一代喷头就已经为品牌业者代工了约15个机种，出货量已达到1000万台。新的喷墨头开发完成后，目前已经开始与日系业者进行代工业务的洽谈。

　　谈到国内的微机电产业，曾繁中也表示，其实国内的MEMS产业的规模与能力都相对弱势。目前其喷墨头芯片是委由亚太优势(APM)制造，他也期望能够透过这样的分工与合作模式，共同提升国内微机电产业的竞争力。

　　针对近来MEMS应用在消费性市场的趋势，曾繁中也指出，目前明基的微流技术研发部门大约有20人，除了喷墨头的技术开发之外，也将开始着手研究有关MEMS加速度计的开发。