MEMS汽车应用热点多元集成是趋势

2008-05-19 16:05:42来源: 中国汽车电子网 关键字:集成  MEMS技术  微系统  微机电系统  LIGA  美国国防部技术计划  1990年

  MEMS技术开辟了一个全新的自然科学领域及全新的产业,它不仅可以降低机电系统的成本,而且还可以完成许多大尺寸机电系统无法完成的任务。

  国外MEMS已形成产业化

  在科学家们的大力推动下,MEMS微机电系统受到了美国、德国、日本等发达国家的重视,他们投入大量的人力物力去推动该产业的发展,多年来取得了众多新成果。

  美国政府把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域,制定了资助微机电系统的研究计划。1994年发布的《美国国防部技术计划》报告,把MEMS列为关键技术项目。从1998年开始,美国政府投资资助麻省理工学院等8所大学和贝尔实验室,从事MEMS领域的研究与开发,美国国防部高级研究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用,现已建成一条MEMS标准工艺线,以促进新型元件/装置的研究与开发。而美国大批量生产的硅加速度计微型传感器(机械部分)和集成电路集成在3mm×3mm的硅片内。

  欧洲工业发达国家也相继对微机电系统的研究开发进行了重点投资。德国自1988年开始设立了微系统计划项目。德国科技部于1990年~1993年拨款4万马克支持微系统计划研究,并把微系统列为本世纪初科技发展的重点。德国首创的LIGA工艺,即光刻、电铸和塑铸工艺,为MEMS的发展提供了新的技术手段,并已成为三维结构制作的优选工艺。德国利用LIGA工艺,已制成了悬臂梁、执行机构、微型泵、微型喷嘴、湿度传感器、流量传感器以及多种光学器件。

  法国1993年启动了投资7000万法郎的“微系统与技术”项目。

  欧盟组成“多功能微系统研究网络NEXUS”,联合协调46个研究所的研究。

  瑞士基于其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础,也投入MEMS的开发工作。1992年开始投资1000万美元。

  英国政府也制定了纳米科学计划,在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。

  为了加强欧洲开发MEMS的力量,一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。

  在中国,MEMS传感器的基础性科研开发已取得显著成果,但尚未具备大批量生产的能力,与国际上的产业化水平存在一定差距。

关键字:集成  MEMS技术  微系统  微机电系统  LIGA  美国国防部技术计划  1990年

编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0519/article_161.html
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