MEMS汽车应用热点多元集成是趋势

　　MEMS技术开辟了一个全新的自然科学领域及全新的产业，它不仅可以降低机电系统的成本，而且还可以完成许多大尺寸机电系统无法完成的任务。

　　国外MEMS已形成产业化

　　在科学家们的大力推动下，MEMS微机电系统受到了美国、德国、日本等发达国家的重视，他们投入了大量的人力物力去推动该产业的发展，多年来取得了众多新成果。

　　美国政府把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域，制定了资助微机电系统的研究计划。1994年发布的《美国国防部技术计划》报告，把MEMS列为关键技术项目。从1998年开始，美国政府投资资助麻省理工学院等8所大学和贝尔实验室，从事MEMS领域的研究与开发，美国国防部高级研究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用，现已建成一条MEMS标准工艺线，以促进新型元件/装置的研究与开发。而美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器（机械部分）和集成电路集成在3mm×3mm的硅片内。

　　欧洲工业发达国家也相继对微机电系统的研究开发进行了重点投资。德国自1988年开始设立了微系统计划项目。德国科技部于1990年～1993年拨款4万马克支持微系统计划研究，并把微系统列为本世纪初科技发展的重点。德国首创的LIGA工艺，即光刻、电铸和塑铸工艺，为MEMS的发展提供了新的技术手段，并已成为三维结构制作的优选工艺。德国利用LIGA工艺，已制成了悬臂梁、执行机构、微型泵、微型喷嘴、湿度传感器、流量传感器以及多种光学器件。

　　法国1993年启动了投资7000万法郎的“微系统与技术”项目。

　　欧盟组成“多功能微系统研究网络NEXUS”，联合协调46个研究所的研究。

　　瑞士基于其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础，也投入MEMS的开发工作。1992年开始投资1000万美元。

　　英国政府也制定了纳米科学计划，在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。

　　为了加强欧洲开发MEMS的力量，一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。

　　在中国，MEMS传感器的基础性科研开发已取得显著成果，但尚未具备大批量生产的能力，与国际上的产业化水平存在一定差距。