现有产品的振子结构示意图

2008-05-19 15:12:26来源: 日经BP社

  美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新构造MEMS振子。这是来日访问的该公司首席执行官Rajesh Vashist透露的。

  一般来说,MEMS振荡器(硅振荡器)是由利用MEMS技术制造的硅共振结构(振子)和驱动电路等组合构成的。该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子,通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。

  今后,该公司计划开发高精度(低抖动)、高单价的产品,为此将利用能够产生更高共振频率的振子。通过提高基础频率,在利用PLL电路提高频率时,时间轴方向的误差(抖动)值(比例)不易增大。高共振频率的振子由于能够缩小元件尺寸,因此有助于降低成本。

  目前,能够得到5MHz共振频率的振子俯视时呈长方形,且采用梁柱连接对角的结构。而与此相对,能得到10倍于目前的、约50MHz共振频率的元件,则可能有各种各样的结构。譬如有三叶草型等多种选择,该公司将根据客户的要求分别采用不同的结构。

  该公司此前一直使用MEMS技术开发振子和振荡器这两个领域的产品,以此来侵蚀水晶振荡器市场,而最近还打算进军第三市场,也就是“用模拟IC实现的时钟元件市场”。这样一来,(Vashist)预计将会有“总额达到60亿美元的市场规模”,使该公司实现持续增长,并争取实现股票首次公开上市(IPO)。SiTime公司将在5月15~16日《日经微件器》举办的技术论坛“MEMS International 2008”上,就MEMS振荡器的技术战略发表演讲。

关键字:振子  振荡器  模拟IC  共振频率  产品  元件  Vashist  MEMS技术  PL

编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0519/article_152.html
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