欧姆龙半导体打造MEMS部件用200mm生产线

2008-05-08 15:14:02来源: 半导体国际

  

  据日经BP社报道,日前欧姆龙的子公司欧姆龙半导体Omron Semiconductors)建造了用于制造MEMS部件的200mm生产线, 进行自主产品的开发及量产,该生产线位于日本滋贺县。计划2008年4月开始量产MEMS麦克风,之后陆续开始生产RF MEMS开关及压力传感器等需求有望扩大的MEMS元器件;预定2008年度内使生产规模达到约1000枚/月。

  此前该公司一直利用125mm生产线来生产MEMS部件。为了满足不断增加的需求以及增强价格竞争力,该公司认为必须扩大生产规模、降低制造成本,因此加大了晶圆的直径。目前已经导入蚀刻装置及成膜装置等用于形成三维结构体的设备。欧姆龙半导体此前曾在日本国内利用200mm晶圆量产过半导体元器件。今后将开发生产类似集成有MEMS和电子电路的芯片那样的、只生产半导体元器件或只生产MEMS元器件的厂商所无法生产的产品。

 

关键字:MEMS  量产  欧姆龙  生产线  半导体元器件  部件  晶圆  RF  Omron  三维

编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0508/article_121.html
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