关注成长中的新技术:MEMS(微电子机械系统)

2008-05-08 15:12:07来源: 电子产品世界

  MEMS技术的发展是利用微细加工和半导体制造工艺,从制造传感器敏感元件)开始,一步步走向集成模块与子系统。MEMS制造商也采取了类似的产业化战略:用传感器(敏感元件)作为起点,打开市场,取代现有产品;进而以完整的功能设计,利用现有的生产制造基础设施,以代工方式或合约制造方式,在硅片上加工,制作集成MEMS 部件(系统)和专用集成电路。例如:硅传声器已从单纯的声音敏感元件发展到对声音进行处理的声学;SiTime 公司基于MEMS 技术的振荡器件已替代了传统的石英振荡器及相关的集成电路模块;Bosch,Honeywell 等公司的IMU(惯性测量单元)已在许多领域替代了传统的加速度仪与陀螺仪。

  总之,MEMS 技术与产业的发展趋势和目标是以MEMS 模块化产品替代非硅基器件(或系统),如石英器件,电容传声器,手机中的软件和光学自动聚焦、变焦镜头,运动检测器件等,这种模块化(子系统)的方式正对每一个预想要达到的功能产生极其重大的影响。

   预计到2015年MEMS 市场可达到180亿美元,整个市场的70%将掌握在半导体制造厂商手中,IC制造厂商会利用自身的优势更快更深地涉足MEMS 的研发与制造,其对设备的需求也会不断增长。

  其中,深刻蚀(DRIE)设备市场的强劲增长是因为在许多MEMS 领域(如加速度仪、陀螺仪、MOEMS、喷墨头、Si 传声器或射频MEMS 等),深度刻蚀工艺技术有着不可替代的重要作用。当然,其他刻蚀工艺技术(如干法HF、XeF2 等)应用的推进也很迅猛。

  由于采用了硅片级的封装方法,器件的一级封装越来越普遍,所以与此相应的硅片键合工艺设备也有二位数的年增长率。

 

关键字:惯性测量  MEMS技术  微电子机械系统  器件  敏感元件  刻蚀  硅片  传声器  半导

编辑:孙树宾 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/MEMS/2008/0508/article_119.html
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