国产MOCVD设备下线 有望降低LED成本 (2)

　　  工艺与设备相结合是推广关键

　　  没有设备的工艺一定是纸上谈兵，没有工艺的设备将是无源之水。南昌大学副校长、晶能光电首席科学家江风益教授在接受《中国电子报》记者采访时表示，开展生产型 MOCVD设备要充分考虑工艺与设备的结合，设备和工艺两者都不能偏废。江风益建议，国家不但要资助MOCVD设备的研发，还要在研发阶段资助外延生产企业去试用MOCVD。因为在试用过程中，企业不是稳定生产，需要耗巨资根据设备特性摸索外延生产工艺。要摸索出成功的外延生产工艺所花费的人力物力财力，甚至要超过设备本身的研发费用。

　　  中国LED产业要想健康、迅速的发展，一定要在关键设备上下工夫。梁秉文认为，MOCVD等关键装备是一个体现国家意志的事，国家一定要大力地投入，全面地支持去做这件事。特别要注意工艺与设备的结合，要鼓励外延芯片厂商应用国产设备，同时要给予一定的资助。

　　  作为设备的制造商，不断完善设备各种性能，适应客户需求是永恒的主题。甘志银表示，在样机下线后，他们的研发团队还将闭关约4个月，他们会根据客户的数据要求，对该设备进行调试，到第5、6月份就将进入量产并接受订单。“我们正在数据整理过程中，我们会用最短的时间给我们的客户一个满意的答案，我们做这台设备的目标就是要直接与国外产品进行竞争，我们会不断地展示并完善我们设备的进展，最终让设备走向市场。”甘志银在接受《中国电子报》记者采访时表示。

　　  随着LED应用的不断深入和扩展，上游关键设备的产业化必将得到进一步发展。甘志银表示，昭信还将会陆续推出更高产能的单腔与多腔体设备。我们有理由相信，昭信半导体MOCVD设备将成为改变中国乃至世界MOCVD设备市场格局的重要力量。